판매용 중고 AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9352602

AIXTRON AIX 2400 G3 HT (Highly Tempered) 는 반도체 산업의 유연한 박막 증착 및 고급 교정 프로세스를 위해 설계된 고성능 다목적 원자로입니다. 넓은 8 챔버 구성과 최적화 된 챔버 밸브를 갖춘 고도로 견고한 디자인이 특징입니다. AIXTRON AIX 2400 G3/HT 원자로의 주요 구성 요소에는 공정 챔버, 가스 입구, 가스 콘센트, 증착판, 공정 인터페이스 및 RFG 기판 보유자가 포함됩니다. 각 챔버 (Chamber) 는 개별화된 래칭 (latching) 장비로 설계되어 안전하고 반복 가능한 연결 포인트를 제공하며, 사용자가 기판을 빠르게 로드 및 언로드할 수 있습니다. 공정 챔버는 온보드 핫 존 (hot zone) 시스템에 의해 가열되며 PID 컨트롤러를 통해 제어됩니다. AIX 2400 G3 HT 원자로 가스 입구는 각 가스 유형에 대해 개별화 된 볼 밸브를 갖춘 빠른 연결 설계를 특징으로합니다. 모든 임베디드 부품은 스테인레스 스틸 벤츄리 (Stainless Steel Venturi) 노즐과 연결되어 프로세스를 깨끗하고 효율적으로 유지합니다. 원자로 (reactor) 는 레시피 또는 교정을 변경할 때 프로세스 챔버를 신뢰할 수있는 포괄적 인 프로그래밍 가능한 자동 청소를 특징으로합니다. 챔버 증착판 (chamber deposition plate) 은 기판에서 박막 (thin film) 을 쉽고 효율적으로 증착 할 수있는 많은 캐리어를 제공합니다. RFG 기판 보유자는 난방 균일성 향상을 위해 설계되었으며, 정밀 성장에 사용하기에 적합합니다. 또한, 원자로에는 자동 프로세스 인터페이스와 1MHz - 13.56MHz의 강력한 RF 생성기가 포함됩니다. AIX 2400 G3/HT 원자로에는 과열 모니터링 머신 (over-temperature monitoring machine) 과 프로세스를 즉시 중단하는 비상 정지 버튼 (emergency stop button) 을 포함하여 장치를 보호하기 위해 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 빠른 속도와 매우 민감한 소프트웨어를 통해 실시간으로 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 AIXTRON AIX 2400 G3 HT는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 다기능 다기능 원자로입니다. 혁신적인 설계, 견고한 구성, 포괄적인 안전 기능을 갖춘 이 원자로는 높은 신뢰성 및 고성능 증착 (HPP) 작업에 이상적인 선택입니다.