판매용 중고 AIXTRON AIX 2400 G3 HT #293826515

AIXTRON AIX 2400 G3 HT는 III-V 화합물 반도체 재료의 개발 및 제조를위한 혁신적인 도구입니다. 원자로 (reactor) 는 기존의 반도체 재료의 특성을 초과하는 특성을 가진 재료의 개발을 가능하게한다. AIXTRON AIX 2400 G3/HT는 온도 안정화 된 기판 척을 갖는 수평 샤워 헤드 원자로입니다. 그것 은 일정한 온도 와 압력 환경 에서 작용 하여, 기질 의 성장 까지도 야기 시킨다. 수평 척은 외부 중력장의 영향을 제거합니다. 쇼어 헤드 시스템은 전구체 가스를 원자로 삼고 기질에 대한 전체 범위를 노출시킵니다. 원자로의 모든 구성 요소는 벽, 샤워 헤드, 기판 척을 포함하여 온도 조절 할 수 있습니다. AIX 2400 G3 HT의 샤워 헤드 (showerhead) 는 기판에 소스 재료의 균일 한 분포를 제공하도록 설계되었습니다. 소스 재료의 원자 화 (atomization) 및 패턴 형성은 여러 다른 매개변수에 의해 제어됩니다. 소스 재료는 가스나 액체를 통해 샤워 헤드 (showerhead) 로 전달되어 소스 물질을 균등하게 분배합니다. AIX 2400 G3/HT 원자로에는 현장 청소 기능도 있습니다. 이를 통해 기판을 냉각시키고 실행 사이에 청소할 수 있습니다. 이 과정은 성장한 재료의 품질과 정확도를 높이고 웨이퍼 (wafer) 의 교차 오염을 줄입니다. AIXTRON AIX 2400 G3 HT는 III-V 복합 반도체 재료 개발에 이상적인 도구입니다. 일정한 온도 및 압력 조건에서 균일 하고 재생성 가능한 증착을 제공합니다. 인사이트 클리닝 (in-situ cleaning) 기능은 성장한 재료의 더 큰 정확성과 품질을 보장하며, 효율적인 원자화를 통해 기질의 전체 범위 노출이 가능합니다. 이 혁신적인 원자로는 광학, 전기 및 열 특성이 개선 된 고품질 III-V 복합 반도체 재료의 성장에 필수적입니다.