판매용 중고 AIXTRON AIX 200 / 4RFS #293636224
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AIXTRON AIX 200/4RFS 원자로는 AIXTRON GmbH가 개발 한 고도로 정교한 장비입니다. 그것 은 화합물 에 기초 한 반도체 "웨이퍼 '와 기타" 옵토일렉트로닉' 성분 의 생산 에 사용 하도록 설계 되었다. AIX 200/4RFS 시스템은 최첨단 bell-jar 유형 장치를 기반으로하며, 반응물이 bell-jar에 주입됩니다. 그런 다음 반응물은 최대 4,000 ° C의 가스 연소로 필요한 온도로 가열됩니다. 일단 원하는 온도 에 이르면, 기계 는 반응 "챔버 '에 높은 진공 상태 를 조성 한다. 이 로 말미암아 반응물 은 가장 낮은 압력 에서 반응 할 수 있게 되며, 따라서 화학 반응 을 위한 최적 의 환경 을 제공 한다. 반응 온도 및 압력은 주어진 반응 과정에 대해 정확하게 조절 및 최적화 될 수있다. 고품질 및 균일 한 웨이퍼 (wafer) 를 보장하기 위해 AIXTRON AIX 200/4RFS 도구는 실레인, 수소, 포스핀 및 기타 유형의 전구체 가스와 같은 광범위한 피드 스톡 재료를 전달 할 수 있습니다. 원자로는 또한 빠른 열 어닐링 (rapid thermal annealing) 과정을 수행 할 수 있으며, 이 기간 동안 웨이퍼는 반도체 재료의 재분배 및 최적화를 용이하게하기 위해 고온에 노출된다. 또한 AIX 200/4RFS 에셋은 통합 광 모니터링 모델을 통해 운영 작업 중 탁월한 정확도를 제공합니다. 광학 모니터링 장비 (Optical Monitoring Equipment) 는 원하지 않는 물질이나 반응 부산물을 감지할 수 있으며 이러한 문제의 작동자에게 실시간으로 경고 할 수 있습니다. 이를 통해 운영자는 프로세스 (process) 를 신속하게 조정하여 최고 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 AIXTRON AIX 200/4RFS 원자로는 최대한의 안전성과 보안을 고려하여 설계되었습니다. 원자로 시스템은 컴퓨터 제어, 프로그래밍 가능한 잠금 장치 (lock-out unit) 를 사용하여 시스템에 대한 무단 액세스가 없도록 합니다. 이 도구는 또한 긴급 차단 자산 (emergency shut-off asset) 을 사용하여 설계되었으며, 원자로 폐쇄로 인한 위험한 상황이 발생할 수 있습니다. AIX 200/4RFS 원자로는 최고의 성능, 안전 및 신뢰성을 제공하는 혁신적인 모델입니다. 이른바 "반도체 웨이퍼 (wafer) '와 다른 광전자 부품의 생산에 이상적일 뿐 아니라 반응온도와 압력 (pressure) 도 정확하게 조절할 수 있다. AIXTRON AIX 200/4RFS 원자로를 통해 AIXTRON GmbH는 고객에게 우수한 품질 솔루션을 제공하기로 약속했습니다.
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