판매용 중고 AIXTRON 2600G3 HT #9270065

AIXTRON 2600G3 HT는 새로운 반도체 응용 프로그램, 특히 고온 (HT) 프로세스에 대한 연구 개발을 위해 설계된 원자로입니다. 이 원자로에는 고급 온도 조절 장비가 장착되어 있으며, 최대 400 ° C의 온도가 가능합니다. 또한 일치하는 한 쌍의 서셉터 어셈블리와 3 차원 (3D) 서셉터, 선형 및 원추형 가스 분사 그리드 및 정확한 기판 위치를 위해 고정밀 동작 제어 시스템이 있습니다. AIXTRON 2600 G3 HT는 많은 필름 및 에피택시 어플리케이션에 대한 프로세스 유연성이 뛰어난 고성능 시스템입니다. 반응 챔버에는 최대 4800W의 전력을 제공하는 넓은 디자인 범위가 있으며, 200 ~ 400W의 즉각적인 전력이 있습니다. 또한 정밀 조정 공정을 위해 주파수 (frequency) 와 피크 파워 (peak power) 의 변화를 허용하는 변조된 전원 장치가 있습니다. 2600G3 HT에는 프로세스 제어가 자동화된 사용자 정의 증착 프로그램을 지원하는 통합, 고급 프로세스 제어 머신이 있습니다. 컴퓨터 제어 하위 시스템은 소스 가스 흐름, 플라즈마 파워, 기판 온도, 기판 바이어스, 비활성 가스 압력 등 증착 중 프로세스 매개변수를 모니터링하고 조정합니다. 2600 G3 HT는 고온 공정을 처리하고 오염 위험을 줄일 수 있는 초고진공시스템 (UHV) 으로 설계됐다. 설계 매개변수는이 도구를 GaN, GaAs, ZnSe 등의 복합 반도체와 다양한 3 차 화합물의 생산에 적합하게 만듭니다. AIXTRON 2600G3 HT의 사용은 광학 및 LED 산업의 연구원 및 엔지니어에게 유익합니다. 이 원자로는 저온 (LT) 및 수소화 된 비정질 실리콘 (a-Si: H). 안전 및 일관된 성능을 위해 자산은 고급 진단 시스템 (Diagnostic System) 을 통해 비정상적인 작동 상태를 감지합니다. 첨단 진단 (Advanced Diagnostics) 은 챔버 상태와 가스 압력 수준을 모니터링하여 오염 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. 전반적으로 AIXTRON 2600 G3 HT 원자로는 반도체, LED, 광학 산업을위한 연구 및 제품 개발에 이상적인 모델입니다. 안전하고, 안정적이며, HT 프로세스를 수행하고, 정확한 프로세스 제어에 도달할 수 있습니다. 자동화된 프로세스 (automated process) 와 통합 진단 (integrated diagnostics) 을 통해 연구자들은 작업과 결과가 일관된 품질임을 보증합니다.