판매용 중고 AIXTRON 2600G3 HT #9233663

AIXTRON 2600G3 HT는 고급 고성능 폐선 화학 증발 (CVD) 원자로입니다. 이 원자로는 다양한 재료에 대해 안정적이고 고품질의 박막 (Thin-film) 증착을 제공하도록 설계되었습니다. AIXTRON 2600 G3 HT는 반도체 및 기타 박막 코팅 응용 프로그램 (예: 금속, 산화물 및 질화물 증착) 에 적합합니다. 2600G3 HT의 중심부에는 견고한 증착실 (strust deposition chamber) 이 있으며, 이는 스테인리스 스틸 벽과 바닥이 단단한 프레임에 장착되어 있습니다. 이 설계를 통해 챔버 (chamber) 의 균일 한 가열과 냉각이 가능하며 안정적이고 긴 수명을 제공합니다. 이 장비의 가장 놀라운 특징은 고급 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 으로, 온도 프로파일링과 프로세스 반복성을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이것은 필름 표면 결함이 최소화 된 놀랍도록 안정적인 증착을 가능하게합니다. 2600 G3 HT에는 통합 2 단계 피로미터 (pyrometer) 가 장착되어 공정 중 실시간 온도 측정을 제공합니다. 3900A 장치는 향상된 안전 및 지속적인 기계 수명주기를 제공하여 일관되고 고품질 필름 증착을 보장합니다. 고속 로드 잠금 (fast load lock) 메커니즘은 지속적인 운영을 가능하게하며 웨이퍼의 빠른 처리 시간을 지원합니다. 이 향상된 도구 안전성 (enhanced tool safety) 은 통합 된 TC 경고 (TC Warning) 자산으로 관리되며, 이 자산은 웨이퍼의 온도와 지그를 모니터링하여 웨이퍼가 안전하지 않은 조건에 노출되지 않도록 합니다. AIXTRON 2600G3 HT 원자로는 사용자 친화적이고 안정적인 운영 외에도 고급 쇼어 헤드 (showerhead) 기술을 통해 최적화된 박막 배포를 제공합니다. 쇼어 헤드 (showerhead) 디자인은 다른 웨이퍼의 레이어 사이의 변화를 감소시켜 증착 과정의 균일성을 보장합니다. 공정 안정성은 우수한 가스 (gas) 와 유체 (fluid) 흐름 전달 및 혼합을 통해 더욱 향상되어 균일 한 입자 크기 균일성과 에너지를 가진 입자의 균질한 증착을 형성한다. 마지막으로, 높은 펄스 전류 전원 공급 장치를 갖춘 AIXTRON 2600 G3 HT는 초슬림 코팅에 대한 최고 해상도로 매우 정확한 두께 제어를 제공합니다. 전체적으로, 2600G3 HT는 고객이 정확하고 고품질의 금속, 산화물, 질화물 박막 코팅을 만들 수 있도록 설계된 매우 혁신적이고 신뢰할 수있는 원자로입니다. 고급 온도 제어 모델, 향상된 안전 측정 (Safety Measures) 및 쇼어 헤드 (Showerhead) 기술은 반복 가능하고 균일 한 코팅 결과를 최고 품질로 보장합니다.