판매용 중고 AIXTRON 2600 G3 #9395959

AIXTRON 2600 G3는 기능 재료의 박막 증착을 위해 특별히 설계된 인라인 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 원자로에는 혁신적인 감수기 형상, 고급 온도 제어 (Advanced Temperature Control) 및 독립 가스 흐름 경로가 장착되어 있어 프로세스 유연성과 반복 가능한 결과를 극대화합니다. 자동화된 다중 영역 온도 제어 시스템 (multi-zone temperon control system) 은 다양한 증착 물질에 대해 최적의 성장 온도를 보장합니다. 원자로의 감수기 형상은 20 나노 미터 (20 나노 미터) 기술 노드에 사용하기 위해 작은 피쳐 크기의 생산에 적합하다. AIXTRON 2600G3는 프로세스의 유연성과 효율성을 제공하는 모듈식, 엔드 투 엔드 (end-to-end) 설계로 설계되었습니다. 원자로는 반응물 및 반송파 가스 농도, 입구 온도, 가스 위치의 독립적 인 조절을 허용하는 다중 구역 가스 흐름 경로 설계를 특징으로합니다. 원자로의 자동 서셉터 (automated susceptor) 설계는 또한 고품질의 박막 (thin film) 의 증착에 최적화되어 있으며, 균일 한 사이클링을 갖는 짝수 온도 프로파일은 최대 수율을 제공합니다. 2600 G3는 기능성 재료를 사용하는 데 다양하며 산화물, 유전체, 질화물, 폴리머, 합금 등과 같은 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 우아한 설계는 높은 처리량과 낮은 TCO (소유 비용) 를 자랑하며 다양한 구성으로 운영될 수 있습니다. 또한 CVD 프로세스를 자동으로 제어하고 모니터링할 수 있는 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 갖추고 있어 고객의 특정 요구에 맞게 시스템을 조정할 수 있습니다. 2600G3에는 비디오 현미경, EndraPlus 기능, 온라인 예측 서비스 등 다양한 기능이 있습니다. 이 고급 시스템은 생산성을 극대화하고, 가능한 최고 수준의 박막 (Thin-film) 증착을 보장하도록 설계되었습니다. AIXTRON 2600 G3는 최첨단 기술 제품의 생산자들이 요구하는 기능과 사양을 갖춘 강력한 CVD 원자로입니다.