판매용 중고 AIXTRON 2600 G3 #9375669

AIXTRON 2600 G3는 그래 핀 및 기타 박막과 같은 재료 재배에 사용되는 AIXTRON의 CVD (Advanced Chemical Vapor Deposition) 원자로 유형입니다. 이 원자로는 사용자에게 정확한 레이어 두께 제어를 위한 고효율적이고 정확한 프로세스를 제공합니다. 대규모 쿼츠 챔버 (Quartz Chamber) 와 우수한 기판 난방 용량, 비용 절감, 프로세스 품질 향상을 위해 설계된 여러 기능이 장착되어 있습니다. AIXTRON 2600G3는 AIXTRON 고급 확산 심온 균일 성 (DTU) 시스템을 사용하여 정확한 레이어 두께 제어를 수행합니다. 이 "시스템 '은 전체 기판 에 걸친 온도 와 혼합물 을 모니터링 하여" 필름' 을 균일 하게 그리고 원하는 두께 로 재배 하는 데 도움 이 된다. 또한, 저성장 율 시스템을 특징으로하여 증착 중 균일 한 층과 향상된 안정성을 보장합니다. 원자로 는 가능 한 기판 크기 와 모양 이 매우 다양 한데, 즉 "필름 '을 거의 모든 기판 으로 재배 할 수 있다. 또한 넓은 석영 챔버 (quartz chamber) 가 있으며, 더 큰 기판 크기와 커버리지 면적이 증가합니다. 또한 2600 G3는 핫 월 (hot wall) 및 콜드 월 (cold wall) 난방 기능을 모두 갖춘 고속 난방 기술을 갖추고 있습니다. 이로써 열이 기판으로 더 빨리 전달됨에 따라 전체 처리 시간 (processing time) 을 줄이고 생산 수율을 향상시킵니다. 안전 측면에서, 2600G3는 처리 중 재료와의 수동 접촉을 제한하는 완전 자동화 (fully automated) 프로세스를 가지고 있습니다. 동봉 된 구조로, 챔버 환경을 보호하는 동안 안전한 작동을 보장합니다. 원자로에는 산소 (oxygen), 압력 (pressure), 온도 (temperature), 흐름 센서 (flow sensor) 등 다양한 센서가 장착되어 있어 환경 모니터링과 안전 위험 시 사용자를 경고할 수 있습니다. 전반적으로, AIXTRON 2600 G3는 고온 균일성과 다양한 기판 크기와 모양을 가진 안정적이고 정밀한 화학 증기 증착 원자로입니다. 자동화된 공정과 광범위한 안전 기능으로 인해 AIXTRON 2600G3는 박막 (thin film) 을 생산하고 재료를 균일하게 퇴적시키는 훌륭한 도구가되었습니다.