판매용 중고 AIXTRON 2600 G3 #9299680

AIXTRON 2600 G3는 반도체 및 LED 제조 공정에 사용되는 박막 증착을위한 최첨단 원자로입니다. 이 제품은 다양한 혁신적인 기능을 제공하며, 탁월한 속성을 가진 대용량 필름 (large-area film) 을 제작할 수 있습니다. AIXTRON 2600G3는 화학 증기 증착 (CVD) 및 혈장 보조 CVD (PECVD) 를 포함한 다양한 증착 기술을 수행 할 수 있습니다. 최대 3 개의 원자로를 수용 할 수 있으며 다중 원자로 프로세스에 적합합니다. 이 시스템은 또한 다양한 파장 범위와 고급 나노 구조 증착을위한 정확한 파장 제어를 특징으로합니다. 원자로에는 다양한 가스 입력 (gas input) 이 제공되어 최고의 필름 성장을 위해 맞춤형 공정 가스 흐름이 가능합니다. 3 개의 원자로에는 정확한 기판 가열을위한 개별 가열 구역이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 AIXTRON 전용 현대화 PID 방법을 기반으로 최첨단 자동 튜닝 알고리즘을 제공하여 정확성과 반복 성을 향상시킵니다. 2600 G3 의 챔버는 안정성과 깨끗함을 보장하기 위해 내구성이 뛰어난 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌습니다. 모든 시스템은 누출 방지 (pressure-tight) 성능에 대해 압력을 가하며, 모든 컴포넌트는 온도에 잘 맞으며, 장기적이고 안정적인 작동이 가능합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 중앙 액세스 도어 (Access Door) 및 통합 청소 포트 (Integrated Cleaning Port) 를 사용하여 쉽게 액세스 및 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 2600G3는 사용 가능한 가장 발전된 다용도 박막 증착 도구 중 하나입니다. 유연성 있는 설계 및 최첨단 (최첨단) 기능을 통해 최적의 프로세스 조건을 갖춘 광범위한 증착 기술을 제공합니다. 반도체 제조의 다양한 기판 및 응용 분야에 이상적입니다.