판매용 중고 AIXTRON 2400G3 HT #9254485

AIXTRON 2400G3 HT는 디스플레이 및 전자 장치 응용 프로그램을 위해 다양한 기판을 코팅하는 데 사용되는 고온 수직 에디 강화 CVD 원자로입니다. 이 장비는 핫 월 라이너 및 EK-Gas 소스를 갖춘 혁신적인 고온 강착 기술을 사용합니다. AIXTRON 2400 G3-HT는 단일 덮개 설계를 통해 측면 힌지 (hinged) 도어를 통해 시스템을 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 주요 구성 요소는 석영 반응물 인젝터, 반응 챔버, 기질 가열 섹션 및 가스 배기입니다. 인젝터는 반응 챔버에 피드 스톡 가스를 전달하며, 여기서 공정 온도는 -10 ° C ~ 1250 ° C로 변할 수 있습니다. 기체 반응물 (gaseous reactants) 이 반응하여 원하는 증착 화합물을 형성 한 후, 온도 조절 난방 섹션을 통해 기질로 운반된다. 가열 섹션은 균일 한 열 분배를 허용합니다. 폐수 관리 및 방출 제어를 위해 배기 포트에 화학 냄새 스크러버 (scrubber) 가 장착되어 있습니다. 2400 G3 HT 는 확장성과 유연성을 고려하여 설계되었으며, 광범위한 애플리케이션의 프로세스 개발을 지원합니다. 이 장치의 기술은 또한 확장 가능하고 저온 증착 (low-temperition) 과정을 가능하게하여 펄스 (pulsed) 및 연속 가스 전달 (continuous gas delivery) 을 사용하여 박막 및 대면적 증착을 제조 할 수 있습니다. 2400 G3-HT에는 안전 가스 차단, 폭발 전환 차단, 머신 바이러스 여과기 (machine virus filtration machine) 등 최고 안전 및 건강 측정도 장착되어 있습니다. 이 도구는 질소, 아르곤, 산소 및 기타 환경 친화적 인 가스와 호환되며, 이는 광범위한 증착에 적합합니다. 2400G3 HT는 고온 강착 솔루션을 찾는 사람들에게 훌륭한 솔루션입니다. 이 자산은 첨단 기술과 효율적인 가스 소모량 (gas consumption) 으로, 성공적인 프로세스 개발 및 증착에 필요한 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다.