판매용 중고 AIXTRON 2400G3 HT #9254484

AIXTRON 2400G3 HT는 고온 3 구역 유도 결합 플라즈마 원자로입니다. 산화물 (Oxide), III-V 화합물 및 금속 박막의 성장과 같은 고급 증착 과정을 위해 설계되었습니다. 이 원자로는 독특한 3 구역 배열을 가지고 있으며, 이는 고온 프로세스에 이상적입니다. 세 개의 영역은 소스 챔버, 도가니 및 플라즈마 챔버로 구성됩니다. 소스 챔버 (source chamber) 는 가열 된 원료가 석영 도가니 (quartz crucible) 에 배치 된 후 진공 챔버 (vacuum chamber) 에 도입 된 프로세스의 첫 번째 단계입니다. 진공이 생성되면, 공기 부재로 인해 챔버 (chamber) 에서 매우 높은 온도가 달성된다. 소스 챔버의 온도는 최대 1800 ° C에 도달 할 수 있습니다. 두 번째는 도가니 무대로, 소스 챔버 바로 아래에 있습니다. 여기서 재료는 유도 적으로 가열되고 용융됩니다. 이 용융된 물질은 플라즈마 챔버에서 더 가열됩니다. 여기서, 사용되는 물질에 따라 온도 범위는 750 ° C-2000 ° C입니다. 플라즈마 챔버는 프로세스의 세 번째이자 마지막 단계입니다. 그것 에서 "플라즈마 '는 외부 의" 가스' 를 도입 하여 만들어진다. 또한 약실 에는 "플라즈마 '의 온도 를 더욱 높이기 위해 사용 되는 유도체" 코일' 이 들어 있다. 또한 기판 재료를 가열하고 미리 청소하여 예금 (deposited) 재료를 수신 할 수 있도록 합니다. AIXTRON 2400 G3-HT 원자로는 다른 원자로에 비해 많은 이점을 제공합니다. 다른 원자로 보다 더 높은 온도 를 얻을 수 있기 때문 에, 그 "에너지 '는 매우 효율적 이며, 그것 은 증착 속도 를 증가 시킨다. 또한 정확도 와 균일성 이 높은 아주 작은 "두께 '의 물질 을 증착 할 수 있기 때문 이다. 또한, 다른 원자로보다 빠르고, 물질적 비용과 인건비 (인건비) 를 절감하기 때문에 비용 효율적입니다. 전체적으로, 2400 G3 HT는 광범위한 도구와 기능을 갖춘 다재다능하고 신뢰할 수있는 원자로입니다. 이것 은 매우 다양 한 증착 과정 을 위한 완전 한 해결책 으로서, 그것 은 전통적 인 원자로 보다 빠른 속도 로 극히 높은 온도 를 달성 할 수 있으며, 정확도 와 균일성 이 높은 "필름 '을 증착 할 수 있을 정도 로 정확 하다. 그렇다.