판매용 중고 AIXTRON 2400G3 HT #9254482

AIXTRON 2400G3 HT는 반도체 장치 생산을위한 고품질 III-V 화합물과 같은 고급 박막 재료의 증착을 위해 설계된 최첨단 수직 원자로입니다. 표준 AIXTRON 시스템과 같은 강력한 기능을 많이 포함하지만, 처리량 및 생산량 향상을 위해 혁신적인 HT 설계를 추가합니다 (영문). AIXTRON 2400 G3-HT는 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 을 통해 운영 프로세스에서 최고의 유연성과 성능을 제공합니다. 2400 G3 HT는 3 챔버 설계를 사용하며, 로드 락 챔버, 작업 챔버 및 언로드 챔버 (각각 별도의 온도 제어) 를 통해 열 안정성을 향상시킵니다. 작동 챔버 (Working Chamber) 에는 최대 1200 ° C의 가열 재료를 사용할 수있는 발열 소스가 있으며, 독립적으로 냉각 할 수도 있습니다. 작동 챔버는 크고 작은 면적의 증착을 허용하는 강력한 자기장을 가진 HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) 유형 마그네트론 안에 둘러싸여 있습니다. 2400 G3-HT에는 증착 과정 모니터링을위한 높은 정확도의 광학 경로가 포함되어 있습니다. AIXTRON 2400 G3 HT에서 최상의 성능을 얻기 위해, 잦은 유지 관리 및 보정을 수행하는 것이 중요합니다. 여기에는 로드 록 (loadlock) 및 작업 챔버 (working chamber) 의 정기적 클리닝과 최고 정밀도 증착을 보장하기 위한 광학 경로 (optical path) 의 교정이 포함됩니다. 또한 2400G3 HT에는 인사이트 모니터링 (in-situ monitor) 및 고급 플라즈마/도량형 솔루션 (advanced plasma/metrology solutions) 과 같은 고급 프로세스 제어 시스템이 장착되어 최상의 재료 결과를 보장할 수 있습니다. 전반적으로 AIXTRON 2400G3 HT는 첨단 어플리케이션을 위한 고성능 재료 증착에 이상적인 도구입니다. "고급 기능 '과" 정밀 제어 시스템' 을 활용하면 이 강력한 원자로의 효율성과 최고 수준의 소재 결과를 기대할 수 있다.