판매용 중고 AIXTRON 2400G3 HT #9238883

AIXTRON 2400G3 HT (고온) 는 연구 및 산업용으로 설계된 고급 원자로입니다. 경쟁사 중 가장 높은 온도 기능을 제공합니다. 원자로 (Reactor) 는 고온 요구가 요구되는 연속 생산 프로세스가 필요한 응용 분야에서 가장 잘 활용됩니다. AIXTRON 2400 G3-HT의 챔버 볼륨은 68 리터이며, 3 인치에서 6 인치 사이의 도가니 크기와 호환되므로 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 전자 빔 소스를 사용하여 챔버에서 균질 한 작동 분위기를 제공합니다. 이 장비에는 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit), 통합 자동 도핑 시스템 (Integrated Automatic Doping System) 및 누출 탐지용 진공 시스템 (Vacuum System) 을 포함하여 정확한 작동을위한 강력한 제어 장치가 포함되어 있습니다. 원자로는 화합물 반도체의 승화, 촉매 코팅 (catalytic coating) 및 그래 핀 합성 (graphene synthesis) 과 같은 다양한 반도체 제조 프로세스에 이상적입니다. 또한 산화, 질화, 합금, 어닐링 및 규산화, 결함 감소 및 3D MEMS 제작과 같은 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 원자로에는 다양한 안전성 (Safety Features) 이 장착되어 있어 고온 환경에서 안전하게 사용할 수 있습니다. 여기에는 온도 모니터, 오존 모니터, 온도 센서, 깜박임 검출기, 수소 모니터, 가스 순도 모니터, 산소 모니터 등 여러 센서와 모니터가 포함됩니다. "선박 '냉각 장치 는 또한 기계 가 작동 하는 동안 에" 챔버' 내 의 과열 을 방지 하도록 설계 되었다. 2400 G3 HT 원자로는 작고 효율적이며 유지 보수가 쉽습니다. 즉, 통합 툴을 통해 프로세스를 손쉽게 효율적으로 관리할 수 있고, 고급 모니터링 자산 (Advanced Monitoring Asset) 을 통해 모든 사용자에게 안전하고 안정적으로 관리할 수 있습니다. 고온 기능을 갖춘 2400G3 HT는 모든 업계의 제조 공정에 적합한 툴입니다.