판매용 중고 AIXTRON 2400G3 HT #9225627
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AIXTRON 2400G3 HT Reactor는 태양/태양 광 시장 생산에서 수평 인라인 필름 증착물입니다. 고품질의 대량 생산 태양전지 제작을 촉진하기 위해 특별히 설계되었습니다. 불순물 및 폴리 실리콘 층의 효과적인 네트워크를 증착 할 수있는 고급 필름 증착 (advanced film deposition) 기술이 특징입니다. AIXTRON 2400 G3-HT 원자로는 CPC (Advanced Computer Controlled) 장비를 갖추고 있으며, 대규모 기판에 균일 한 박막을 배치하기 위해 다양한 프로세스 챔버에 신호를 보냅니다. 여기에는 4 개의 가열 요소가 있으며, 이는 매우 정확하고 정확한 온도 설정을 제공하여 일관된 처리를 보장합니다. 2400 G3 HT 반응기의 공정 챔버는 생산 중 프로세스 매개 변수를 유지하기 위해 APM (Automated Process Monitoring) 을 제공합니다. 고급 CPC 코드를 사용하면 2400G3 HT Reactor에서 필름 두께, 증착률 및 온도와 같은 매개변수를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. CPC 코드는 제품이 일관된 성능 수준을 갖도록 필름 증착 사이의 반복성을 보장합니다. CPC 코드는 또한 AIXTRON 2400 G3 HT Reactor가 변화하는 제조 요구 사항에 맞게 증착 매개 변수를 조정할 수 있도록 지원합니다. 2400 G3-HT 원자로는 float zone cell-FZC 프로세스에 대한 광범위한 프로세스를 수행하도록 설계되었습니다. 이 과정에는 어닐링, 산화, 불순물 도핑, 인 첨가, 오믹 접촉 및 후방 수동이 포함됩니다. 고급 APM (Automated Process Monitoring) 시스템을 통해 AIXTRON 2400G3 HT Reactor는 기술자가 필요하지 않은 상태에서 증착 프로세스를 자동으로 수행할 수 있습니다. AIXTRON 2400 G3-HT 원자로에는 서로 다른 레이어를 처리하도록 별도로 설정할 수있는 3 개의 공구 세트가 있습니다. 이를 통해 2400 G3 HT 원자로 (Reactor) 는 원자로 장치를 중지하지 않고도 다른 공정 사이를 쉽게 전환 할 수 있습니다. 완전 통합, 자동화 및 제어 된 레이저 보조 처리 장치 (laser-assisted processing machine) 도 증착 프로세스의 정확성을 향상시킬 수 있습니다. 2400G3 HT 원자로 (HT Reactor) 는 양질의 고품질 태양 전지를 생산하기위한 강력한 도구입니다. 첨단 증착 기술을 통해 균일 한 박막 (thin film) 을 대형 기판에 증착 할 수 있습니다. 자동화된 프로세스 모니터링 (Automated Process Monitoring) 도구는 필름 증착과 유연한 처리 도구 간의 반복성을 보장하여 프로세스를 쉽게 전환할 수 있습니다. AIXTRON 2400 G3 HT 원자로는 고품질 및 시장을 선도하는 태양 전지를 보장합니다.
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