판매용 중고 AIXTRON 2400 G3 #9270057

AIXTRON 2400 G3는 고급 재료 연구 및 고품질 화합물 반도체 생산을 위해 설계된 고성능 에피 택시 (epitaxy) 원자로입니다. AIXTRON 2400G3는 고출력, 대용량, 자동 교정 대칭 원자로이며 III-V 화합물, II-VI 화합물 및 그래 핀을 포함한 광범위한 물질을 처리 할 수 있습니다. 2400 G3는 고성능 전자, 광전자 (optoelectronics), 양자 컴퓨팅 (quantum computing) 및 태양 광 응용 분야에 사용할 차세대 복합 반도체 재료를 연구하고 개발하기위한 독특한 기능을 제공합니다. 2400G3 원자로는 최대 6 개의 요소를 선택할 수있는 6 인치 (15cm) 솔리드 쿼츠 쇼어 헤드 서셉터 플랫폼을 갖추고 있습니다. 샤워 헤드 서셉터 (showerhead susceptor) 의 셀은 동일한 입사 플럭스 프로파일과 열적으로 균형을 이루고 있으며, 이는 넓은 영역 기판에서 증착을 가능하게한다. 또한, 대칭 디자인은 균일 한 도핑을 보장하고 최적화 된 재료 증착률을 허용합니다. 직관적인 소프트웨어를 사용하면 사전 설정된 프로세스 매개변수를 0.1nm 정밀도로 쉽게 조정할 수 있습니다. AIXTRON 2400 G3 원자로는 또한 고성능 Multi-ZoneTM 컨트롤러를 갖추고 있으며, 이를 통해 공정 제어 수준에 따라 최대 5 개의 독립 프로세스 영역을 조정할 수 있습니다. AIXTRON 2400G3 원자로는 각 구역에서 다양한 가스 흐름, 온도, 압력, 전류를 조정하는 기능을 통해 모든 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하여 가장 복잡한 프로세스 흐름을 가능하게합니다. 2400 G3는 사용자 편의성을 위해 여러 가지 고급 기능으로 설계되었습니다. 여기에는 더 쉬운 기판 처리를 위한 자동 재료 로더, 셀을 보호하는 내장 안전 측정, 진공 시스템 및 기판, 다기능 전원 장치, 효율적인 시스템 모니터링 및 작동을위한 원격 액세스, 공구 매개변수 자동 제어 및 실행 종료 및 프로세스 보고가 포함됩니다. 2400G3 원자로는 다양한 응용 분야에 대해 높은 순도, 결함이없는 재료를 생산할 수 있습니다. AIXTRON 2400 G3 (AIXTRON 2400 G3) 원자로는 첨단 화합물 연구 및 고품질 반도체 소재 생산을위한 신뢰할 수 있는 고성능 원자로를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.