판매용 중고 AIXTRON 2400 G2 #9018984

AIXTRON 2400 G2는 그래 핀, 반도체 재료 및 기타 나노 물질의 생산을 위해 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 단일 웨이퍼 원자로이며 800 ° C ~ 1300 ° C의 온도에서 작동합니다. 2400 G2는 주 챔버로 구성되며, 이는 선택한 온도까지 가열됩니다. 이 방 은 진공 "펌프 '에 연결 된 진공관 으로 둘러싸여 있다. 챔버 (chamber) 는 반응물 가스의 2 가지 공급원으로 구성되며, 반응물 및 전구체와 함께 챔버로 펌핑됩니다. 약실 내부에서, 반응물은 제어 된 온도 및 압력 조건에서 기질 (코팅 될 물질) 과 반응한다. AIXTRON 2400 G2에는 전기 공급 장비가 장착되어 있으며 PPDS (Pulsed Plasma Deposition System) 가 내장되어 있으며, 여기서 재료는 플라즈마 에너지로 성장하도록 권장됩니다. 이것은 재료의 균일 한 증착을 달성하는 데 도움이됩니다. 또한, 이 장치 는 여러 종류 의 재료 에 대한 반응물 "가스 '의 증착 속도 를 조절 할 수 있다. "가스 '와 기판 의 온도," 챔버' 내부 의 압력, 증착 과정 에 사용 되는 "가스 '의 부피 를 모니터링 하고 유지 하는 온도 와 압력" 센서' 를 갖춘 약실 은 완전 히 자동화 되어 있다. 이 기계는 또한 자동 차단 메커니즘 (automated shut-off mechanism) 및 과압 보호 (over-pressure protection) 와 같은 안전 기능으로 설계되어 증착 중에 위험한 사건이 발생하지 않도록 합니다. 마지막으로 2400 G2 는 전용 알고리즘과 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 활용하는 효율적인 제어 툴을 갖추고 있습니다. 데이터 로깅 기능이 내장되어 있으며, 여러 수준의 자동화를 통해 작동할 수 있습니다. 또한이 자산에는 증착 물질을 분석하기위한 OES (optical emission spectroscopy) 와 같은 소프트웨어 기반 분석 도구가 포함되어 있습니다. 이는 사용자에게 정확하고 반복 가능한 결과를 얻는 데 도움이됩니다.