판매용 중고 AIXTRON 2000 #9222202

AIXTRON 2000은 박막 증착 응용을 위해 설계된 멀티 챔버, 직사각형, 저압 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 원자로입니다. 이 원자로를 통해 연구자와 엔지니어는 다양한 기판에 복합 반도체 층을 정확하게 배치 할 수 있습니다. 2000 년에는 3 개의 개별 챔버가 있습니다. 숙주 챔버, 배기 챔버 및 비활성 가스 챔버. 숙주 챔버 (host chamber) 는 기질 물질을 함유하고 있으며, 들어오는 전구체 물질을 기질로 분해 및 원자 화 할 수있다. 배기 챔버 (Exhaust Chamber) 는 공정 챔버에서 반응 생성물을 배출하는 데 사용되며, 비활성 가스 챔버 (Inert Gas Chamber) 는 환경으로부터 오염을 방지합니다. AIXTRON 2000은 수직 장착 수 소화물 램프를 사용하여 화학 증기 증착 공정에 에너지를 제공합니다. 램프는 250 ~ 400 nm 범위의 자외선 (UV) 에너지를 제공하는데, 이는 들어오는 전구체 물질을 분해하고 박막 증착에 필요한 화학 반응을 가능하게합니다. 원자로의 정밀 공정 제어는 350-420 ° C의 조절 가능한 온도 범위로 달성됩니다. 공정 가스의 유속은 1-105 mbar 및 조정 가능한 가스 밸브 제어의 압력 제어로 정확하게 조절됩니다. 2000의 내장 안전 기능은 프로세스 화상, 과압 및 과열 방지 기능을 제공합니다. AIXTRON 2000의 다재다능성은 현장에서 성공의 열쇠입니다. 예 를 들어, 2000 년 은 매우 다양 한 화합물 반도체 층 을 퇴적, 식각, 청소 하는 데 효과적 입니다. 또한 다이오드, 박막 트랜지스터, LED, Schottky 장벽 및 기타 복합 반도체 장치를 증착시키는 데 적합합니다. AIXTRON 2000은 최소 폐기물 생산, 낮은 휘발성 물질 방출, 전구체 가스를 제외한 유해 물질 없이도 친환경적인 옵션을 제공합니다. 또한, 견고성 강화 (Rugged) 설계와 필요한 낮은 유지 관리를 통해 2000은 장기간 안정적으로 작동할 수 있습니다. 결론적으로, AIXTRON 2000은 견고성과 정확한 프로세스 제어를 결합한 독특한 MOCVD 원자로로, 과학자와 엔지니어들에게 광범위한 박막 레이어를 정확하고 안정적으로 배치 할 수있는 능력을 제공합니다. 다재다능한 운영 매개변수, 환경 친화력, 유지 보수가 적어 산업 화합물 반도체 증착에 이상적인 선택이됩니다.