판매용 중고 AIXTRON 2000 HT #9056239

AIXTRON 2000 HT는 수소 기반 저압 금속 유기 증기 상 에피 택시 (LP-MOVPE) 원자로입니다. 이 유형의 원자로는 monocrystalline 반도체 재료의 생산에 사용됩니다. 2000 HT는 고급 2 단계 공정을 사용하여 유기 금속 화합물의 형태로 금속-유기 전구체를 열로 응축 된 주변 압력과 결합하여 얇은 결정층 (crystalline layer) 을 생성합니다. 이 2 단계 프로세스를 통해 결정 레이어 구성, 두께, 모양의 제어 및 균일성을 만들 수 있습니다. AIXTRON 2000 HT는 프로세스 중에 적극적으로 제거되는 수소, 비활성 가스 (아르곤 및 질소) 의 가스 혼합물로 채워진 석영 실린더 챔버로 설계되었습니다. 이 과정은 깨끗하고 잘 통제 된 결정 성장 분위기를 유지하는 데 도움이됩니다. 2000 HT는 뛰어난 에피 택셜 레이어 균일성, 제어 가능한 성장률, 고품질 성장 결과를 유지하면서 100 ° C - 100 ° C 범위의 온도에서 작동 할 수 있습니다. AIXTRON 2000 HT는 프로그래밍 가능한 기판 홀더, 핫 월 시스템 (빠른 온도 경사 속도 달성) 및 레이저 프로파일로미터 (laser profilometer) 를 사용하여 epitaxial 레이어의 스캔-타이트한 제어를 지원하는 등 많은 옵션을 지원합니다. 원자로는 또한 컨트롤러가 칩 전송, 웨이퍼 로드 (wafer load) 를 제어하고 정확한 웨이퍼 위치를 결정할 수있는 고급 로봇 로딩 시스템을 지원합니다. 이는 나중에 제어 매개변수의 최적화를 단순화 할 수 있습니다. 2000 HT는 강철 프레임 캐비닛에 총 크기가 약 0.4m x 1.0m (최대 높이 1.2m) 입니다. 원자로는 저전압 아날로그/디지털 도 제어를 통해 1.5KW 수냉식 전원 공급 장치에 연결됩니다. AIXTRON 2000 HT는 OPC/Giass 3.2.1과 호환되는 전력 전자 부품, 소프트웨어 및 컴퓨터 시스템을 자랑합니다. 이 시스템은 Xtal-C in-sitting 녹음 시스템과 호환되며 기록 속도는 최대 20Hz입니다. 2000 HT는 다용도, 신뢰성, 비용 효율적인 장치로, 많은 연구, 생산 시설에 사용됩니다. 원자로 가동도 안전하고 효율적이다. 원자로 가동은 이 기기에서 제공하는 안전 (Safety) 기능이 많기 때문이다. AIXTRON 2000 HT (AIXTRON 2000 HT) 는 반도체 재료의 합성을 위해 적절하고 신뢰할 수있는 장치를 찾는 모든 조직에 적합한 선택입니다.