판매용 중고 AIRCO TEMESCAL / FERROTECH FC 2800 #293807071

AIRCO TEMESCAL/FERROTECH FC 2800은 주로 연구 및 산업 응용 분야의 박막 및 코팅 성장에 사용되는 고성능 박막 증착 장비입니다. 이 시스템은 증착 공정 (deposition process) 에 대한 뛰어난 제어를 제공하기 위해 설계되었으며, 정확한 두께와 구성을 가진 고품질의 균일 한 필름을 제공합니다. FERROTECH FC 2800 원자로에는 정밀한 프로세스 제어 및 반복성이 가능한 다양한 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치는 일반적으로 진공실, 가스 배달기, 기판 홀더, 실시간 프로세스 모니터링을위한 다양한 센서 및 모니터로 구성됩니다. AIRCO TEMESCAL FC 2800 원자로의 주요 특징 중 하나는 고진공 기능으로, 순도 및 최소 오염으로 필름을 증착 할 수 있습니다. 이 도구에는 일반적으로 10 ^ -6 ~ 10 ^ -8 Torr 범위의 초고 진공 범위 (일반적으로 10 ^ -6 ~ 10 ^ -8 Torr) 에서 압력을 달성하고 유지할 수있는 고성능 진공 펌핑 자산이 장착되어 있습니다. 이 저압 환경은 두께와 조성을 정확하게 제어하는 고품질 박막 (Thin Film) 의 성장에 필수적입니다. FC 2800 원자로에는 증착 대기를 정확하게 제어 할 수있는 정교한 가스 배달 (gas delivery) 모델이 장착되어 있습니다. 이 장비는 광범위한 공정 가스를 수용 할 수 있으며 스퍼터링 (sputtering), 증발 (evaporation) 및 화학 증기 증착 (chemical vapor deposition) 을 포함한 다양한 증착 기술에 사용될 수 있습니다. "가스 '의 유량, 압력 및 조성물 은 증착 된" 필름' 의 성질 을 조정 하기 위하여 매우 정밀 하게 조절 할 수 있다. AIRCO TEMESCAL/FERROTECH FC 2800 원자로의 기판 홀더는 다양한 기판 크기와 모양을 수용하도록 설계되어 있으며, 작은 샘플에서 큰 웨이퍼까지 다양한 기판에서 박막 (thin film) 을 증착 할 수 있습니다. "홀더 '는 또한 증착 중 에 기질 의 온도 를 조절 하기 위하여 가열 하거나 냉각 될 수 있는데, 이것 은" 필름' 의 성장 과 접착 을 최적화 하는 데 중요 하다. FERROTECH FC 2800 원자로에는 실시간 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 다양한 센서와 모니터가 장착되어 있습니다. 여기에는 챔버 내부의 압력 측정, 가스 흐름 속도 모니터링, 증착 대기 (deposition atmosition) 의 구성 분석 도구가 포함됩니다. 이 시스템에는 일반적으로 내부 두께 모니터 (in-situ thickness monitor) 가 포함되어 있어 필름의 성장을 실시간으로 추적하고 원하는 필름 두께를 달성합니다. 전반적으로 AIRCO TEMESCAL FC 2800 원자로는 연구 및 산업 환경에서 다양한 응용 분야에 적합한 다양하고 신뢰할 수있는 박막 증착 장치 (Thin film deposition unit) 입니다. 첨단 기능 (Advanced Features) 과 정확한 프로세스 제어 (Process Control) 기능을 통해 특정 응용프로그램을 위한 맞춤형 속성을 갖춘 고급 재료 및 코팅 (Coating) 을 개발하는 데 유용한 툴이 됩니다.