판매용 중고 UNITEMP RTP-1000-150 #293642647

UNITEMP RTP-1000-150은 와퍼의 안정적이고, 반복 가능하며, 정확한 열 처리를 제공하도록 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. RTP-1000-150은 단일 웨이퍼 공정 챔버로, 반도체 제조 중 빠르고 정확한 온도 조절이 가능합니다. UNITEMP RTP-1000-150은 최대 4 인치 직경 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 0.1 ° C 온도 정확도로 작동합니다. 프로세스 레시피는 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 만들어지며, 내부 하드 드라이브에 저장됩니다. 이 장비는 8 포인트 램프 스캐닝 (ramp-scanning) 기술을 갖추고 있으며, 모든 웨이퍼에서 엄격한 프로세스 제어 및 반복 가능한 결과를 제공합니다. 챔버는 내부적으로 최대 온도 1250 ° C로 가열되며 질소, 아르곤, 헬륨과 호환됩니다. RTP-1000-150은 안전성을 위해 설계되었으며, 적외선 안전 연동 메커니즘 (infrared safety interlock mechanism) 과 밸브 (valv) 를 검사하여 비상 사태가 발생할 경우 격리를 보장합니다. 이 시스템은 또한 누출 브레이크 밸브 (Leak Break Valve) 를 특징으로하여 단위 압력을 조절하고 챔버에서 누출을 방지합니다. UNITEMP RTP-1000-150 (UNITEMP RTP-1000-150) 은 챔버 압력 및 온도를 지속적으로 모니터링하며, 미리 정의된 한계의 편차를 보고하도록 설정할 수 있습니다. RTP-1000-150은 편리한 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 통합된 냉각 머신 (Cooling Machine) 을 통해 각 웨이퍼의 빠른 냉각을 보장합니다. 이 도구는 스테인리스 스틸 부품과 모놀리식 쿼츠 챔버 (monolithic quartz chamber) 를 갖춘 안정성을 위해 설계되었습니다. 밀폐된 스테인레스 스틸 난방 요소는 균일하고 철저한 열 과정을 보장합니다. UNITEMP RTP-1000-150 은 최대 수준의 유연성과 편의성을 보장하도록 설계된 다양한 액세서리와 옵션을 제공합니다. 여기에는 자동 웨이퍼 전송 에셋, 바코드 리더기 (barcode reader) 및 외부 컨트롤러로 처리 레시피를 내보내는 옵션이 포함됩니다. 이 모델은 배기 컨트롤러 (옵션) 와도 호환되며, 처리 중 챔버의 신속한 백 필링 및 대피를 허용합니다. RTP-1000-150은 매우 정밀하고 반복 가능한 처리 결과를 제공하는 고급 고속 열 프로세서입니다. 최대 1250 ° C 및 0.1 ° C 온도 정확도의 온도 범위를 가진 UNITEMP RTP-1000-150은 유연하고 최적의 반도체 생산 기능을 제공합니다.