판매용 중고 ULVAC RTA-6000 #9152945

ULVAC RTA-6000
ID: 9152945
Rapid thermal annealing system.
ULVAC RTA-6000 (ULVAC RTA-6000) 은 초고속 쿼츠 가열 요소를 사용하여 정확하고, 반복 가능하며, 안정적인 온도 성능을 제공할 수 있는 고급 고속 열 프로세서입니다. 이 장치는 화학 증기 증착, 물리적 증기 증착 (physical vapour deposition), 빠른 열 부화 (rapid thermal annealing) 와 같은 광범위한 공정에서 빠른 열 처리에 적합합니다. RTA-6000에는 강력한 진공실이 있으며, 고효율 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 에 의해 제어되며, 최소 오염으로 매우 높은 진공에 도달 할 수 있습니다. 또한, 진공실은 매우 짧은 석영 난방 요소를 사용하여 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 온도 제어를 허용합니다. 이 장치는 우수한 온도 프로파일 성능 (temperature profile performance) 으로 인해 균일 한 온도 그라디언트를 만드는 데 이상적이며, 일반 퍼니스 기반 어닐링 프로세스보다 훨씬 우수합니다. 또한 ULVAC RTA-6000은 높은 수준의 프로세스 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 고급 컨트롤러에는 시간 (time), 온도 (temper), 압력 (pressure), 진공 수준 (vacuum level) 과 같은 프로세스 매개변수를 자동으로 모니터링하고 최적화하도록 설정할 수 있는 고급 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, 온도 를 항상 매우 좁은 범위 내 에서 제어 할 수 있게 되며, 이것 은 재래식 "어닐링 '과정 에서는 달성 할 수 없는 정확 하고 반복 할 수 있는 결과 를 가져올 수 있다. RTA-6000에는 안전성을 향상시키고 오염을 줄이는 기능도 포함되어 있습니다. 그것 은 통합 된 화학 증기 증착 "시스템 '을 갖추고 있는데, 이것 은 약실 이 오염 물질 로부터 자유 케 한다. 또한, 강력한 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 는 매우 빠른 펌프 다운 사이클을 가능하게하여 유해 증기에 노출 될 수있는 시간을 최소화합니다. 전반적으로 ULVAC RTA-6000은 화학 증기 증착, 물리적 증기 증착, 빠른 열 부화 (thermal annealing) 와 같은 광범위한 처리 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 안전 장치 (Safety Features) 와 결합된 정확한 온도 조절 (Temperate Control) 기능을 통해 위험 요소를 최소화하면서 반복 가능한 열 처리가 필요한 사람들에게 탁월한 선택이 가능합니다.
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