판매용 중고 ULVAC RTA-6000 #9055548

ULVAC RTA-6000 (ULVAC RTA-6000) 은 다양한 고성능 다운스트림 처리 어플리케이션을 위해 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 고품질 열 처리 기능을 제공하여 뛰어난 안정성과 반복성을 갖춘 고정밀 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 부품을 생산할 수 있습니다. RTA-6000에는 온도, 시간, 압력에 대한 정확한 제어를 보장하는 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 고주파 펄스 기술 변조 (High Frequency Pulse Technique Modulation) 는 고도의 반복 가능한 열 균일성을 유지하면서 샘플의 빠른 가열 및 냉각을 가능하게한다. 결과는 1 ° C의 가열 된 영역 내에서 온도의 균일성입니다. ULVAC RTA-6000은 웨이퍼의 빠른 열 처리를 위해 설계된 온도 조절 열 프로세서입니다. 이 제품은 다양한 공정 (process) 과 재료 (material) 에 필요한 열 환경을 만드는 데 사용할 수 있는 통합 챔버 (chamber) 및 서셉터 (susceptor) 기술을 갖추고 있습니다. 이 장비는 온도가 단단하고 지속적으로 반복 가능한 결과를 보장하기 위해 가열 된 존 (zone) 온도 측정 시스템을 통합합니다. 연속 유동 가스 발사 장치는 최대 1100 ° C의 온도에서 일관되고 꾸준한 난방 환경을 허용합니다. 이 시스템에는 다양한 프로세스 제어 시스템 및 모니터링 기능 (예: 실시간 데이터 획득 및 분석) 이 포함되어 있습니다. RTA-6000은 저항성, 확산, 산화, 질화, 어닐링 및 기타 여러 가지와 같은 제품 매개변수를 모니터링하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 이 툴의 통합 프로세스 제어 시스템은 데이터 로깅 및 광범위한 보고 기능을 제공합니다. 또한, 통합 프로세스 제어 (integrated process control) 자산은 높은 효율성과 저온 드리프트 프로세스 제어 시스템을 제공하여 프로세스 반복성과 재생성을 보장합니다. 이 모델에는 원격 작업 및 모니터링을 위한 접근성도 있습니다. 이 장비에는 통신 및 제어를 위해 내장 이더넷 또는 RS232 인터페이스가 장착 될 수 있습니다. 따라서, 사용자는 자신의 사무실이나 홈 (home) 의 편안함으로부터 프로세스를 모니터링하면서, 원격 위치에서 시스템을 제어할 수 있는 유연성을 제공합니다. ULVAC RTA-6000 Rapid Thermal Processor는 고정밀 기계 및 전기 부품의 대용량 생산을 위한 탁월한 선택입니다. 첨단 프로세스 제어 (process control) 기술과 다양한 기능을 통해 빠르고, 안정적이며, 반복 가능한 열 프로세스를 통해 일관된 최종 제품의 품질을 얻을 수 있습니다.