판매용 중고 ULVAC RTA-0208 #9107343

ID: 9107343
Infrared lamp heating unit, 2005 vintage.
ULVAC RTA-0208 Rapid Thermal Processor는 반도체 처리 및 테스트 응용 프로그램에 사용되는 고급 장치입니다. 그것 은 광범위 한 기판 에서 작동 하도록 설계 되었으며, 최대 1200 "센티미터 '의 온도 로 가열 할 수 있다. 이 프로세서는 최대 10포인트의 온도를 동시에 측정할 수 있는 완전 자동, 고속 프로세서로, 온도, 압력, 대기 등의 매개변수를 제어할 수 있습니다. RTA-0208에는 2 개의 풀 필드 에너지 (적외선 램프 및 고출력, 가변 주파수 램프) 가 장착되어 있습니다. 후자 는 가열 된 지역 에 폭 넓은 "에너지 '를 공급 할 수 있어서, 온도 와 압력 을 매우 정확 하게 측정 할 수 있다. ULVAC RTA-0208은 또한 특정 응용 프로그램의 매개 변수 (예: PID 컨트롤러, 독립 오븐 열 제어, 온도를 모니터링하는 내장 피로미터) 를 최적화하는 많은 고급 컨트롤러를 제공합니다. RTA-0208은 견고하고 수냉식 (water-cooled) 구조로 하드웨어 오작동 없이 고온을 처리 할 수 있습니다. 또한 임의의 매개 변수가 허용 한도를 초과하는 경우, 모든 프로세스를 지속적으로 모니터링하고 장치를 종료하는 지능형 안전 시스템 (Intelligent Safety System) 을 갖추고 있습니다. 이 장치는 직경 2 "~ 8" 의 다양한 웨이퍼 크기를 지원할 수 있으므로 효율적이고 정확한 열 처리가 가능합니다. ULVAC RTA-0208 (ULVAC RTA-0208) 은 반도체 업계에서 강력한 도구로, 정확하고 반복 가능한 결과로 기판을 빠르게 가열하는 기능을 포함하여 여러 가지 고급 기능을 제공합니다. 첨단 온도 및 압력 제어 (pressure control) 를 통해 정교한 열 프로파일링을 통해 엔지니어가 특정 응용 프로그램의 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 또한, 이 장치의 강력한 램프는 각 응용 프로그램의 특정 요구 사항에 맞춘 다양한 에너지 수준 (energy level) 을 제공 할 수 있습니다. 이 장치의 내장 안전 기능, 견고한 구성, 직관적인 제어 기능을 통해 업계 최고의 열 프로세서입니다.
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