판매용 중고 ULVAC MILA-3000 #9133505

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ID: 9133505
빈티지: 2003
RTP System 1200°C, 15 mm 2003 vintage.
ULVAC MILA-3000 (ULVAC MILA-3000) 은 광범위한 열 제어 프로세스를 수행하도록 특별히 설계된 산업 수준의 빠른 열 프로세서입니다. 이 장비 는, 오늘날 의 생산 필요 에 비해 너무 느린, 많은 재래식 방법 을 능가 하는 비길 데 없는 속도 와 효율성 을 제공 한다. MILA-3000은 정확하고 반복 가능한 온도 상태를 달성하면서 시간당 최대 3000 개의 부품을 처리 할 수 있습니다. ULVAC MILA-3000의 외부 가열 기판 캐리어는 처리에 저온 열 에너지를 활용하는 반면, 프로그래밍 가능한 정밀 온도 제어 하의 동시 전원 공급 장치는 균일 한 온도 분배 및 더 높은 생산 수율을 보장합니다. 이 혁신적인 플랫폼은 또한 기존 시스템보다 낮은 온도에서 균일하고 반복 가능한 열 처리 (thermal processing) 를 제공하며, 소유 비용을 크게 줄입니다. 밀라 3000 (MILA-3000) 은 3 개의 별도 센서를 갖춘 독점적 인 3 중 에너지 난방 시스템을 갖추고 있으며, 이 시스템은 탁월한 정확도와 정밀도로 열 에너지를 측정합니다. 이러한 통합 센서는 에너지 사용률 극대화를 위해 환경 온도 (+/- 1 ° C) 의 변화를 감지 할 수 있습니다. 이 장치는 고출력, 저비용 솔루션을 활용하여 폐기물을 최소화하고 사후 처리 (post-processing) 요구 사항을 줄여 생산성을 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. ULVAC MILA-3000은 온도 조절 외에도 알루미늄베이스, 가연성 가스 추출 챔버 (Gas Extraction Chamber) 를 장착하여 처리 중에 생성 된 원치 않는 증기를 빠르게 대피시킵니다. 이로써 기계는 에너지 효율성 (energy-efficient) 뿐만 아니라, 폭발성 가스 농도를 안전 수준 (safe level) 이하로 유지하도록 설계된 챔버 (chamber) 가 유해 물질과 함께 사용하기에 안전합니다. 더 빠른 처리량을 위해 MILA-3000은 자동화된 캐리어 기반 카세트 로딩 도구를 갖추고 있습니다. 수동 재장전이 필요 없이 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리하기 위한 목적으로 설계되었으며, 인라인 (in-line) 및 오프라인 (offline) 작업을 모두 수행할 수 있습니다. 또한, 모든 표준 소재와 호환되는이 최첨단 고속 열 프로세서는 대용량 생산 환경에 이상적인 선택입니다. 즉, '최첨단' 를 선택해야 합니다. 간단히 말해, ULVAC MILA-3000은 고급 인텔리전스 및 자동화 기능을 갖춘 견고하고, 고성능, 빠른 열 프로세서입니다. 초고속 온도 조절, 탁월한 균일성, 정확성, 반복성을 제공하는 경제적인 에너지 절감 솔루션을 제공합니다. MILA-3000은 반도체 설계, MEMS, OLED 디스플레이 및 기타 열 프로세스에 이상적입니다.
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