판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9210339

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP는 반도체 장치 제조의 요구를 충족시키기 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 제품은 높은 프로세스 반복성과 탁월한 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공하여 다양한 운영 환경에서 고객에게 효과적인 솔루션이 됩니다. TEL SRTF200-LP는 직접 구동, 고출력 LED 램프가 장착된 LED 램프 유형 RTP입니다. LED 램프 (LED lamps) 는 넓은 파장 범위와 높은 균일성을 제공하여 낮은 온도에서도 웨이퍼를 더 빨리 열 처리할 수 있습니다. 또한 램프의 뛰어난 광학 특성 (optical characteric) 을 통해 처리 시간을 긴밀하게 제어하여 최고의 정밀도를 보장합니다. 온도 균일성을 최적화하고 빠른 가열 및 냉각 시간을 달성하기 위해 WAFERMASTERS SRTF200-LP에는 펠티어 (Peltier) 요소 기반 냉각 장비가 장착되어 있습니다. 이 냉각 시스템 (cooling system) 은 웨이퍼를 통해 온도 프로파일의 균일성을 최대화하여 균일하고 반복 가능한 결과를 초래합니다. SRTF200-LP에는 SIEC-ON 터치스크린 인터페이스도 함께 제공되므로 장치 설정 및 작동이 간편합니다. TOKYO ELECTRON SRTF200-LP에는 내장형 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 기계가 장착되어 있어 웨이퍼 표면에 다양한 재료를 증착 할 수 있습니다. 이 도구는 표준 CVD 프로세스보다 균일성과 증착율이 높습니다. 또한 CHIRS (Compact Helix Infrared Source) 자산은 표준 좁은 적외선보다 높은 증착 온도를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP에는 내부 웨이퍼 측정 모델도 포함되어 있어 프로세스 안정성의 정확한 특성화가 가능합니다. 이 측정 장비에는 광학 분광학, x- 선 스캔 분석, 스캐닝 전자 현미경 등 다양한 분석 기능이 제공됩니다. 이러한 기능 외에도 TEL SRTF200-LP는 프로세스 상태 모니터링, 데이터 로깅 등 시스템 제어 옵션도 제공합니다. 이 RTP에는 다양한 안전 기능이 제공되어, 안전한 운영을 보장합니다. 최대 성능을 유지하기 위해 WAFERMASTERS SRTF200-LP에는 제품 수명 및 프로세스 시간 (time) 에 따른 효과에 따라 온도 프로파일을 자동으로 조정하는 내장 프로세스 모니터링 시스템이 있습니다. 전반적으로, SRTF200-LP는 뛰어난 빠른 열 프로세서로, 안정적인 성능과 뛰어난 프로세스 제어를 제공합니다. 효율적인 LED 램프, 뛰어난 온도 균일성, 간편한 장치 설정, 내장형 PECVD 및 CHIRS 시스템은 다양한 생산 환경에서 고객에게 완벽한 선택이 가능합니다.