판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9144808

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP는 반도체 제조의 웨이퍼 처리에 사용되는 고급 고속 열 프로세서입니다. 특허를 획득한 RTP (Continuous Rapid Thermal Processing) 기술을 통해 다양한 재료 및 기판에 걸쳐 고정밀 열 처리 성능을 제공할 수 있습니다. TEL SRTF200-LP는 -25 ° C ~ 1600 ° C 범위의 단일 릴 캐리어 시스템으로, 다양한 프로세스 매개 변수에 적합합니다. 열 처리 중 웨이퍼 교환을위한 독특한 회전식 셔터 도어 (spinning shutter door) 디자인과 최대 15 ° C/sec의 빠른 온도 램프 (ramps) 를 제공하여 다른 것과는 달리 빠른 열 프로세스 솔루션을 제공합니다. 또한 와퍼 (Wafer) 전송 및 동적 프로세스 단계에서 시력 모니터링을 수행하는 동안 정확한 웨이퍼 정렬이 가능한 고급 비전 시스템 인 와퍼 비전 (WaferVivalTM) 이 장착되어 있습니다. 또한 WAFERMASTERS SRTF200-LP 에는 고객의 특정 프로세스 요구에 맞게 시스템을 사용자 정의하기 위해 추가할 수 있는 다양한 (옵션) 모듈이 있습니다. 여기에는 DEP, PECVD, CVD, ALD 및 기타 계층 재료 처리를 위한 원자로 모듈; 웨이퍼를 1200 ° C 이상의 온도로 상승시키는 서셉터 히터; 챔버의 진공 적재 암에서 웨이퍼를 수신하기위한 쿼츠 랙; 정확한 웨이퍼 로딩 및 위치 지정을위한 임베디드 레이저 간섭계. 유연성과 고도의 정밀 열 처리 제어 덕분에 TOKYO ELECTRON SRTF200-LP (Tokyo ELECTRON SRTF200-LP) 는 자동화된 시스템에 손쉽게 통합된 솔루션을 제공하면서 완벽한 프로세스 정렬 및 반복 기능을 제공합니다. 정확하고, 효율적이며, 신뢰할 수 있는 열 처리가 필요한 첨단 산업을 위한 이상적인 솔루션입니다.