판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9134044

TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP
ID: 9134044
웨이퍼 크기: 8"
Rapid thermal annealing systems, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP는 고도의 빠른 열 프로세서입니다. 이 제품은 저렴한 비용으로 탁월한 성능과 처리량을 제공할 수 있으며, 높은 효율성을 제공합니다. 이 장비는 다양한 웨이퍼 크기로 정확하고 반복 가능한 RTP (Rapid Thermal Process) 레시피를 용이하게하도록 설계되었습니다. TEL SRTF200-LP는 고급 고정밀 (high-precision) 기술을 활용하여 용광로에서 열을 균등하게 분배하여 웨이퍼의 균일 한 난방 및 냉각을 보장합니다. 이렇게 하면, 정확 한 온도 조절 을 할 수 있으며, 그 결과 수율 이 높아지고 "웨이퍼 '성능 이 향상 된다. WAFERMASTERS SRTF200-LP는 통합 열 센서 어레이를 사용하여 온도 조건을 실시간으로 판독합니다. 이는 열 처리 과정에서 높은 수준의 안정성과 정확성을 보장합니다. SRTF200-LP 는 광범위한 레시피 (레시피) 설정을 제공하여 사용자가 구성을 사용자 정의하고 운영 프로세스를 최적화할 수 있도록 합니다. 여기에는 다양한 시간, 온도 설정, 다양한 응용 프로그램 (예: 확산 또는 산화) 에 대한 다양한 레시피가 포함됩니다. TOKYO ELECTRON SRTF200-LP의 종합적인 데이터 로깅 및 분석 기능은 고품질 결과를 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP 시스템은 또한 모든 온도 제어 및 효율적인 데이터 전송 및 처리를 제공하는 고급 통합 제어 패키지를 제공합니다. 자동화된 장치를 사용하면 고속 제어 및 데이터 전송을 통해 생산성을 극대화할 수 있습니다. 내장된 런타임 (run-time) 경보기는 프로세스 관련 문제가 빠르고 쉽게 식별되도록 합니다. 고급 기능 외에도 TEL SRTF200-LP는 매우 쉽게 사용 및 유지 관리할 수 있습니다. 독보적인 프로세스 최적화 설계를 통해 운영 및 유지 보수 비용이 낮아 탁월한 열 균일성을 제공합니다. WAFERMASTERS SRTF200-LP에는 긴급 종료 시 자신을 다시 초기화하는 자체 진단 도구 (self-diagnostics tool) 도 있습니다. 요약하면, SRTF200-LP는 고도의 빠른 열 프로세서입니다. 통합 열 센서 어레이, 견고한 레시피 설정, 고급 통합 컨트롤, 안정성 향상을 위한 자가 진단 (self-diagnostics) 자산이 특징입니다. 정확한 온도 조절 및 효율적인 데이터 전송을 통해 TOKYO ELECTRON SRTF200-LP는 운영 및 유지 보수 비용이 낮아 고품질 결과를 제공합니다.
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