판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #9375003

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200 빠른 열 프로세서 (RTP) 는 화학 증기 증착 (CVD), 물리적 증발 (PVD), 다양한 증착, 스푸팅, 다양한 산화, 스푸팅 등 광범위한 응용 분야에서 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리하도록 설계된 최첨단 장치입니다. TEL 5BAO-200은 실내 온도만큼 낮은 온도에서 30 초 안에 900 ° C 높은 온도까지 웨이퍼를 빠르게 처리 할 수 있습니다. 또한, 이 RTP에는 모든 프로세스에 우수한 결과를 얻기 위해 자가 진단 및 제어 장비가 있습니다. WAFERMASTERS 5BAO-200은 공압 제어 챔버 히터를 사용하여 여러 웨이퍼를 효율적이고 빠르게 가열합니다. 이 RTP는 고급 시뮬레이션 기술과 최첨단 3D 모델링으로 제작되어 직경 4 ~ 6 인치 범위의 한 번에 최대 200 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 가열식 챔버를 만듭니다. 5BAO-200에는 PID 제어 기능이 통합된 3 개의 독립적 인 질량 흐름 비례 제어 시스템 (PID 제어) 이 장착되어 있어 타이밍과 온도를 매우 정밀하게 설정할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON 5BAO-200은 뛰어난 성능과 편의성을 염두에 두고 설계되었으며, 비상 정지 기능 (Emergency Stop Function) 및 다중 백업 난방 시스템 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 고출력 (HPD) 을 처리하고 내구성이 뛰어나고 견고한 제품을 생산할 수 있도록 설계된 우수한 소재와 부품 (부품) 으로 제작됐다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200에는 사이클 시간을 빠르게 줄이고 처리량을 증가시키는 고유 한 비 접촉 웨이퍼 로딩 장치가 포함되어 있습니다. TEL 5BAO-200 (TEL 5BAO-200) 은 탁월한 기능과 더불어, 직관적인 제어 인터페이스뿐 아니라, 기계의 일상적인 유지 보수 및 관리를 위한 원격 기능을 제공합니다. 마지막으로, 에너지 효율적이며, 유사한 시스템에 비해 전력 소비량이 적으며, 비용을 절감하고 지속 가능성을 향상시킵니다. 전반적으로 WAFERMASTERS 5BAO-200 Rapid Thermal Processor는 혁신적인 기능을 갖춘 일류 장치로, 업계에서 탁월한 선택입니다. 이 제품은 빠르고 정확한 웨이퍼 열 처리 기능을 효율적으로 제공하며 CVD, PVD, 스퍼터링, 산화, 어닐링, 클리닝 등 수많은 애플리케이션에 적합합니다.