판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #9227375

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200은 반도체 웨이퍼에 대한 열 프로세스를 처리하기 위해 안정적인 고성능 RTP (Rapid Thermal Processor) 입니다. 정밀한 온도 및 균일성 제어를 얻기 위해 다중 영역 (multiple-zone) 기능으로 강제 대류 가열 및 냉각을 사용합니다. TEL 5BAO-200은 최대 8 인치 직경의 크고 무거운 웨이퍼를 처리하도록 설계되었으며, 애닐링, 재결정, 확산 등의 열 처리 응용 분야에 대한 정확한 온도 조절이 가능합니다. 각 웨이퍼의 표면 온도를 정확하게 제어하기 위해 다중/이중 (multiple/dual-zone) 선택을 통해 핫/콜드 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. WAFERMASTERS 5BAO-200은 빠른 가열 기능을 갖추고 있으며, 응답 시간은 최대 1400-C의 온도에 5 밀리초에 불과합니다. 이 빠른 가열은 확산, 산화 (oxidation), 질화 (nitridation) 와 같은 과정을 전통적인 방법에 의해 필요한 시간의 일부분으로 완료 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON 5BAO-200은 또한 1200 'C에서 실온까지 12 초의 냉각 시간을 제공하는 빠른 냉각 옵션을 제공합니다. 이 시스템은 4x4 다중 영역 선택 (multiple-zone selection) 기능을 갖춘 고급 컨트롤러로, 전체 웨이퍼 표면에서 온도를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 열 과정 을 최적화 하기 위한 정밀 한 온도 조정, 여러 층 의 재료 에 걸친 정밀 한 온도 조정 을 할 수 있다. 그렇다. 이러한 기능을 사용하면 웨이퍼를 보다 정확하고 균일하게 처리 할 수 있습니다. 고급 온도 제어 외에도, 5BAO-200은 터보 타입 밸브로 디지털 가스 흐름 제어 (digital gas flow control) 를 제공하여 변형없이 반복 가능한 침전물을 제공합니다. 이 가스 흐름 제어는 프로세스 반복성과 재생성을 향상시킵니다. TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200에는 쿼츠 캡슐화 된 자동 웨이퍼 전달 메커니즘도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면, 효율적으로 로드 및 언로드할 수 있으므로, 처리된 웨이퍼가 주변 환경에 노출되는 것을 줄일 수 있습니다. 이것은 웨이퍼의 산화 또는 외국 물질 오염을 최소화하는 데 도움이됩니다. TEL 5BAO-200은 안정적이고 매우 효과적인 Rapid Thermal Processor로, 업계 최고의 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 최신 열 처리 기술 (정밀한 온도 조절, 고속 난방 및 냉각 시간, 고급 디지털 가스 흐름 제어) 을 제공합니다. 고품질 엔지니어링 및 견고한 구조로 WAFERMASTERS 5BAO-200은 확산, 산화, 질화 등의 응용 분야에 이상적입니다.