판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #293760423

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200 고속 열 프로세서는 오늘날의 반도체 제조 공정의 요구에 맞게 설계된 고급 솔루션입니다. 단일 챔버 내에서 정밀한 난방 및 냉각 주기를 제공 할 수있는 완전 자동 RTP (Rapid Thermal Processing) 도구입니다. TEL 5BAO-200에는 수평으로 장착 된 2 구역 석영 튜브 반응기 시스템이 있습니다. 두 영역은 웨이퍼 위와 아래쪽으로 수직으로 구성되며, 웨이퍼 (wafer) 표면에서 균일 한 온도를 제공합니다. 난방 시스템에는 이중 피로겐, 최대 1625 ° C 및 고급 분산 온도 피드백 제어 (Distributed Temperature feedback Control) 가 장착되어 샘플에 걸쳐 매우 균일 한 온도를 제공합니다. WAFERMASTERS 5BAO-200은 최대 200mm 직경의 기질을 처리 할 수있는 고정밀, 저 관성 증발 실린더 및 아나모픽 마스크 회전 목마를 특징으로합니다. 또한 가장 작은 샘플의 안전, 정확한 전송 및 조작을 위해 인체 공학적으로 설계된 전기 기계 전달 시스템 (electromchanical delivery system) 이 포함되어 있습니다. 5BAO-200은 최대 60 개의 사전 설정 처리 레시피를 사용하여 사이클 당 최대 4 개의 샘플을 신속하게 처리하도록 설계되었습니다. 25 ° C (저온도 25 ° C) 에 이르는 단단한 온도 공차 내에서 안정적인 성능을 제공하도록 만들어졌으며, 다양한 가스, 비활성 (inert) 및 비비활성 (non-inert) 과 호환됩니다. TOKYO ELECTRON 5BAO-200은 독점적 인 Touchstone ™ 제어 소프트웨어를 사용하여 쉽게 작동합니다. Touchstone (tm) 은 압력, 온도, 주기 시간, 데이터 로깅 기능 등 장치의 다양한 매개변수를 완벽하게 제어합니다. 또한, 실수로 과열되지 않도록 소프트 스타트 (soft-start), 다중 경보 (multiple alarm) 및 공식 (formulas) 과 같은 몇 가지 고급 기능 및 안전 메커니즘을 제공합니다. 요약하면, WAFERMASTERS TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200 고속 열 프로세서는 고급 제어 소프트웨어 및 온도 안정성으로 최대 200mm 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 다양한 연구 및 반도체 제작 프로세스에 적합합니다.