판매용 중고 STEAG / AST / MATTSON Helios #9235480

STEAG/AST/MATTSON Helios는 정확하고 정확한 열 제어를 사용하여 웨이퍼 기판의 높은 처리량 열 처리를 가능하게하는 빠른 열 프로세서입니다. AST 헬리오스 (AST Helios) 는 가장 엄격한 산업 도량형 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 단일 웨이퍼 (wafer) 에 기판과 신속한 어닐링 시간을 완전히 자동화하는 유일한 장비입니다. 이 시스템은 처리 중 기판 온도 및 위치를 측정하고 추적하는 고급 추적 (advanced tracking) 기술을 사용합니다. STEAG Helios는 Annealing 모듈과 로드/언로드 모듈로 구성된 고성능 고속 열 프로세서입니다. 어닐링 모듈에는 고해상도 DSC (differential scanning calorimeter) 와 유도 가열 장치가 포함되어 있으며, 이는 정확한 온도 제어를 제공하기 위해 함께 작동합니다. 이 기계는 또한 고급 6축 동작 제어 플랫폼 (6축 motion control platform) 을 사용하여 어닐링 중 표본과 프로세스를 제어하기 위해 정교한 소프트웨어를 정확하게 배치합니다. 헬리오스 (Helios) 의 로드 및 언로드 모듈은 로봇 암을 사용하여 카세트에서 어닐링 스테이지로 샘플을 다시 전송합니다. 이 모듈에는 표본 위치를 인식하고 기판의 정확하고 반복 가능한 위치화 (positioning) 와 샘플 무결성을 보장하는 엔드 이펙터 센서 (end-effector sensor) 를 제공하는 통합 비전 도구도 포함되어 있습니다. MATTSON Helios에는 자동 대기 제어를 위해 완전히 통합 된 환경 챔버도 포함되어 있습니다. 이 환경 챔버에는 처리 중 대기 및 가스 흐름 속도, 고압 가스 공급 자산, 프로그래밍 가능한 온도 및 습도 제어를 위해 여러 개의 챔버 (챔버) 가 있습니다. 환경 챔버 (Environment Chamber) 에는 챔버 내 환경의 균일성을 모니터링하는 온도 모니터링 모델도 포함되어 있습니다. 마지막으로 STEAG/AST/MATTSON Helios는 자동화된 사용자 인터페이스를 사용하여 장비를 제어하는 데 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스를 제공합니다. 이 사용자 인터페이스에는 열 처리 주기 (thermal processing cycle) 동안 데이터를 캡처, 리모콘, 분석할 수 있는 통합 소프트웨어 제품군도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어 제품군에는 연간 주기 (anneal cycle) 를 최적화하는 툴과 온도 및 위치 (position) 를 실시간으로 모니터링하는 툴도 포함되어 있습니다. 전반적으로, AST Helios는 매우 최적화 된 빠른 열 프로세서로, 웨이퍼 기판에 대해 정확하고 정확한 열 제어를 제공합니다. 이 시스템은 가장 엄격한 산업도량형 (industrial metrology) 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 통합된 자동화 및 고급 소프트웨어 기능을 통해 처리량이 많은 열 처리를 위한 이상적인 솔루션이 되었습니다.