판매용 중고 STEAG / AST / MATTSON Helios #9219024

STEAG/AST/MATTSON Helios는 RTP (Rapid Thermal Processing) 기술을 사용하는 빠른 열 프로세서입니다. 반도체 웨이퍼 생산을위한 높은 처리량, 비용 효율적인 프로세스입니다. AST Helios는 어닐링, 확산, 산화 프로세스 등 여러 응용 프로그램에서 정확하고, 반복 가능하며, 효율적인 열 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 통합 지원 용광로 설계, 다중 측정 기능, 통합 안전 기능으로 구성됩니다. STEAG Helios는 온도가 1100 ° C에 도달 할 수있는 2 개의 난방 구역과 2 개의 냉각 구역이있는 다목적 용광로 디자인을 사용합니다. 프로세서는 고속 열 프로파일을 정확하게 제어할 수 있으며, 온도 전환은 30 ~ 500 ° C/초, 주거시간은 10 ~ 60 초이므로 빠르고 정밀한 처리에 적합합니다. 또한, 프로세서의 가스 전달 시스템은 대기 제어 유연성을 제공하여 질소, 산소, 아르곤 유형 대기를 생성 할 수 있습니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 는 장치의 안전을 보장하기 위해 가스 모니터, 압력 센서, 서모커플, 밀봉 도어 인터 록 (sealed door interlock) 을 포함한 중복 안전 측정을 갖추고 있습니다. MATTSON Helios (MATTSON Helios) 는 통합 광학 피로미터 모니터링 웨이퍼 전위를 사용하여 챔버 내에서 프로세스를 정확하게 모니터링 할 수 있으며, 세트 포인트의 2 mA 내에서 온도를 조정할 수 있습니다. 프로세서는 컴퓨터 지원 (computer support) 에 관계없이 다른 장비와 통합하고 제어 플랫폼 (control platform) 을 활용하여 원하는 프로세스 매개변수를 쉽고 빠르게 구성할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 프로세서에는 쉽게 작동하고 제어할 수 있도록 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 가 장착되어 있습니다. 헬리오스 (Helios) 는 반도체 웨이퍼 생산의 여러 애플리케이션을 위한 효율적이고 효과적인 Rapid Thermal Processor이며, 다양한 제품과 프로세스에 대한 최고의 품질 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 기계는 온도 프로파일 (temperature profile), 안전 기능 (safety features), 통합 광학 각도계 (integrated optical pyrometer) 및 손쉬운 작동을 위한 사용자 친화적 GUI를 정확하게 제어하여 빠른 열 처리에 적합합니다.