판매용 중고 STEAG / AST / MATTSON Helios #9193169
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판매
ID: 9193169
웨이퍼 크기: 12"
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
RTA / Spike anneal
Pressure: ATM
Temperature: 1150°C
Front interface: (3) Load ports
Front end: Ball room
Platform:
RORZE Robot 700 Dual arm
Upper arm: Metal blade
Lower arm: QUARTZ Blade
Type: TDK
TAS300
RFID Foup reader
GEM: Ethernet (HSMS)
MATTSON MMC (P/N: 3001068)
MATTSON Sequencer (P/N: 17002560)
MATTSON I/O Controller (P/N: 17000910)
(8) Cooling stations
(4) Dummy stations
Process module 1, 2:
MATTSON Wafer pyro (P/N: 17001048)
MATTSON Lamp pyro (P/N: 17001040)
MFC Model unit
Gas 3 / UFC 8100 / N2 / 20 SLM
Gas 4 / UFC 3101 / N2 / 150 SLM
Gas 7 / UFC 8100 / O2 / 20 SLM
Gas 8 / UFC 3101 / O2 / 150 SLM
Gas 9 / UFC 8100 / O2 / 2 SLM
Process Quartzware: Standard
Electric:
Transformer
UPS Internal
Power supply: 480 V.
STEAG/AST/MATTSON Helios는 다양한 재료의 열 처리를 빠르고 정확하게 촉진하도록 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 빠른 열 처리 (Rapid Thermal Processing, RTP) 라는 기술을 사용하여 기판 및 재료를 빠르게 올리고 식힐 수 있으며, 다양한 정밀한 열 처리를 수행 할 수 있습니다. 이 RTP 뒤의 고급 기술 설계를 통해 50 ° C ~ 1300 ° C의 온도를 빠르게 조작 할 수 있습니다. 그 에 더하여, 그 장비 는 2 초 도 채 안 되어 그렇게 할 수 있어서, 여러 가지 다른 재료 들 을 빠른 속도 로 처리 하는 데 매우 신뢰 할 만한 도구 가 되었다. 그렇다. 그렇다. AST 헬리오스 (AST Helios) 는 고순도 대기에서 기질의 고품질, 균일 한 열 처리, 기타 다양한 공정 대기를 제공합니다. 이 시스템은 또한 큰 기질 웨이퍼에 걸쳐 우수한 열 균일성을 유지할 수 있으며, 금속, 폴리머, 실리콘 및 실리콘 기반 화합물을 포함한 많은 기질 물질에서 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한이 장치는 고급 광학 피로미터 (optical pyrometer) 와 맞춤형 금속 할라이드 아크 램프 (bespoke metal halide arc lamps) 를 갖추고 있어 뛰어난 수준의 공정 제어 및 모니터링을 제공하여 모든 열 처리가 쉽게 반복되고 정확합니다. 이것 은 "기판 '이 치료 기간 에 있어서 최적 상태 로 유지 되기 위하여, 그 들 에게 갑작스런 온도 변화 를 모니터링 하고 반응 할 수 있는 능력 을 부여 해 준다. 그렇다. 이 기계는 또한 전략적 구조로 인해 본질적으로 견고합니다. 산업 등급 진동 흡수 장치 및 정확한 기계식 테이블 동작 시스템 (mechanical table motion systems) 은 프로세스가 정확하고 효율적으로 수행되도록 보장합니다. 전반적으로 STEAG 헬리오스 (STEAG Helios) 는 신뢰할 수 있고 매우 효과적인 빠른 열 프로세서로, 광범위한 재료 처리 및 연구 프로젝트에 사용됩니다. 정밀도, 속도, 반복성, 효율성 모두, 신뢰성 있고 정확한 열 처리 방법을 찾는 사람들에게 가치있는 투자가됩니다.
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