판매용 중고 STEAG / AST / MATTSON AST 2800 #293749237

STEAG/AST/MATTSON AST 2800은 반도체 장치 제조를 위해 설계된 고도의 빠른 열 처리 장비입니다. 이 시스템은 정밀한 온도 조절 (temperate control) 및 균일 한 난방 프로파일을 제공하여 생산 환경에서 반도체 웨이퍼의 빠른 열 어닐링을 가능하게합니다. 최첨단 기술과 혁신적인 기능을 갖춘 AST AST 2800 은 반도체 업계의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있으며, STEAG AST 2800 의 주요 특징 중 하나는 고온 기능으로, 섭씨 1250 도까지의 온도에 도달 할 수 있습니다. 이를 통해 단위는 도펀트 활성화, 산화, 질화 (nitridation) 등 다양한 어닐링 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 기계에는 여러 가열 구역 (heating zone) 과 고급 열 제어 장치 (Advanced Thermal Control Mechanism) 가 장착되어 있어 웨이퍼 표면의 균일 한 가열을 보장하여 높은 공정 반복 성과 신뢰성을 달성합니다. AST 2800 은 빠른 열 처리 (rapid thermal processing) 기술을 사용하는데, 여기서 웨이퍼는 단기간 (일반적으로 초 ~ 분) 에 원하는 온도로 가열됩니다. 이 빠른 난방주기 (rapid heating and cooling cycle) 는 웨이퍼의 열 예산을 최소화하면서 효율적이고 효과적인 어닐링 프로세스를 달성하는 데 필수적입니다. 이 도구에는 웨이퍼 (wafer) 표면에 강렬하고 균질한 가열을 제공하는 고출력 램프 (high-power lamp) 어레이가 장착되어 있어 정밀한 온도 조절 및 열 균일성이 보장됩니다. 고온 기능 및 빠른 처리 속도 외에도 MATTSON AST 2800은 고도의 처리량 생산 환경을 위해 설계되었습니다. 에셋은 이중 웨이퍼 로드 잠금 (Wafer Load Lock) 메커니즘을 통해 웨이퍼를 지속적으로 처리하고 유휴 시간을 최소화하고 생산성을 극대화할 수 있습니다. 이 모델은 또한 레시피 관리 (recipe management), 프로세스 모니터링 (process monitoring) 과 같은 고급 자동화 기능을 통합하여 작업을 능률화하고 일관된 프로세스 결과를 보장합니다. STEAG/AST/MATTSON AST 2800에는 운영자가 손쉽게 어닐링 프로세스를 프로그래밍 및 제어 할 수있는 사용자 친화적 인 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 장비는 램프 속도 (Rate Rate), 적신 시간 (Soak Time), 냉각 프로파일 (Cooling Profile) 과 같은 다양한 맞춤형 프로세스 매개변수를 제공하여 애닐링 프로세스를 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 실시간 모니터링/진단 툴을 시스템에 통합하여 프로세스 제어를 보장하고 성능을 최적화할 수 있습니다. 또한 AST AST 2800은 안전성과 신뢰성을 염두에 두고 설계되었습니다. 이 장치에는 운전자를 보호하고 기계 부품의 과열 방지를 위해 강력한 열 차폐 (thermal shielding) 및 안전 인터 록 (safety interlock) 이 포함되어 있습니다. 이 도구는 또한 고급 가스 흐름 제어 (Advanced Gas Flow Control) 및 제거 메커니즘을 특징으로하여 깨끗한 처리 환경을 보장하고 웨이퍼의 오염을 방지합니다. 전반적으로 STEAG/AST/MATTSON STEAG 2800은 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 고온 기능, 빠른 처리 속도, 고급 자동화 기능을 제공하는 최첨단 빠른 열 처리 자산입니다. STEAG AST 2800은 정확한 온도 조절, 균일 한 난방 프로파일, 높은 처리량 (throughput) 기능을 통해 생산 환경에서 효율적이고 안정적인 Annealing 프로세스를 구현하는 데 이상적인 솔루션입니다.