판매용 중고 SSI Solaris 150 #9268077

SSI Solaris 150은 다양한 연구 및 산업 응용을 위해 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 빠른 램프 속도로 -150 ° C ~ 1000 ° C의 넓은 온도 범위에서 우수하고 균일 한 웨이퍼 가열을 제공합니다. 컴팩트 한 디자인과 정확한 로봇 웨이퍼 처리 장비를 제공하여 다양한 웨이퍼 크기 (2, "3", 4, "5" 및 6 ") 를 지원하고 단일 웨이퍼 또는 배치 작업을 위해 신속하게 재구성 할 수 있습니다. Solaris 150은 균일하고 반복 가능한 열 처리를 위해 솔리드 스테이트 램프 커플 링 시스템을 사용하여 고급 PID 제어 웨이퍼 가열로 설계되었습니다. 20 ° C/sec 이상의 고온 램프 속도를 달성 할 수 있으며, 웨이퍼 온도를 정확하게 측정하는 데 도움이되는 통합 광학 피로미터 (optical pyrometer) 도 있습니다. 내장 Windows 기반 소프트웨어는 프로그래밍 가능한 레시피 옵션을 통해 완벽한 프로세스 제어 유연성을 제공합니다. SSI Solaris 150에는 신속한 교정 및 레시피 개발을 지원하는 맞춤형 제어 아키텍처가 있습니다. 직관적인 터치스크린 (Touch Screen) 컨트롤이 적용된 HD 디지털 컬러 디스플레이로, 사용자는 장치를 빠르고 쉽게 모니터링하고 구성할 수 있습니다. 이 RTP 시스템은 이더넷 (Ethernet) 또는 PC (PC) 를 통해 연결할 수 있는 유연한 통신 아키텍처를 통해 프로세스를 원격 모니터링하고 제어할 수 있습니다. Solaris 150은 Photonics, MEMS, RF 및 microelectronics 응용 프로그램의 엄격한 품질 요구 사항을 충족시키기 위해 Annealing, nitridation, 산화, 확산, 재결정, 금속 증착 및 depassivation과 같은 다양한 프로세스를 수행하도록 설계되었습니다. 저렴한 비용, 작은 설치 공간, 높은 균일성을 통해 연구실, 대학, 소규모 생산 시설에 적합합니다. 탁월한 성능과 안정성을 위해 SSI Solaris 150은 보호 금속 공기 흐름판 (Shroud) 과 전원 장애 시 웨이퍼 (Wafer) 전송을 방지하는 안전 연동 장치 (Safety Interlock) 를 포함한 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 공정 "웨이퍼 '의 질 을 향상 시키고 오염 가능성 을 감소 시키는 데 도움 이 되는 고급 정화 도구 (advanced purification tool) 도 있다.