판매용 중고 Q-THERM / JIPELEC JetFirst #9254046

Q-THERM/JIPELEC JetFirst는 반도체 장치의 고속 열 처리를 위해 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 이 매우 정밀한 열 처리 장비는 1 ° C/초 ~ 4 ° C/초의 온도가 가능하며, 뛰어난 열 정밀도와 정확성으로 인해 많은 측정 및 제조 프로세스에 필요한 도구가 됩니다. Q-THERM JetFirst 장비는 여러 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 여기에는 핫 척 및 모터, 열 블록, 냉각 블록, 히터 로드, 온도 제어 블록 및 통합 제어 시스템이 포함됩니다. 핫 척 (hot chuck) 은 처리 할 기판을 보관하는 고정 부품입니다. 열 전도성이 높은 합금으로 만들어졌으며, 기판에 대해 일관되고 고품질의 열 제어 (thermal control) 를 제공하는 데 사용됩니다. 모터 (motor) 는 기판 표면에서 균일 한 온도를 유지하기 위해 핫 척 (hot chuck) 을 회전시키는 데 사용됩니다. 열 블록 (thermal block) 과 냉각 블록 (cooling block) 을 사용하여 장치를 냉각시키거나 원하는 온도로 가열합니다. 히터로드 (heater rod) 는 미리 설계된 열 프로파일을 반도체 기판에 적용하고 온도 조절 블록 (temperature control block) 은 원하는 온도에 도달하면 열 프로파일을 유지합니다. 통합 제어 장치는 전체 프로세스를 모니터링합니다. JIPELEC JetFirst 기계는 실리콘, 유리, 금속 및 기타 기판을 처리하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 RTA (Rapid Thermal Annealing), RTP (Rapid Thermal Processing), 스텝 난방 또는 램프 및 고급 온도 프로파일에 사용할 수 있습니다. 이러한 기능은 결정화, 산화, 증착, 도핑 등 다양한 애플리케이션에 이상적입니다. JetFirst 도구는 뛰어난 성능과 정확도를 제공합니다. 신뢰성이 높은 난방 센서, 과열 모니터링, 경보 기능 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 또한, 이 자산에는 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스가 있어 쉽고 직관적인 제어가 가능합니다. 전반적으로 Q-THERM/JIPELEC JetFirst 열 프로세서는 반도체 장치의 열 처리를 위한 효율적인 도구입니다. 최고 정확도와 정확도로 1 ° C/초에서 4 ° C/초의 온도를 처리 할 수 있으며, 다양한 어플리케이션에 적합한 다양한 기능을 제공합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 포괄적인 안전 기능을 갖춘 Q-THERM 제트 퍼스트 (JetFirst) 모델은 우수한 플랫폼을 제공하여 보다 빠르고, 정확하며, 더 안정적인 열 처리를 지원합니다.