판매용 중고 PROCESS PRODUCTS 100 #9063019
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ID: 9063019
Rapid Thermal Annealer, 2"
Maximum temperature: 850º C
Control section:
Power setting for slop
Dwell power limit
K-Type thermocouple
SCR Control of lamps
Water cooling around chamber
Silicone seal around door
2 Gallons/min of water
115 V, 30 Amps
N2 Cover gas.
PROCESS PRODUCTS (PP) PROCESS PRODUCTS 100은 MEMS 및 복합 반도체 기술과 같은 다양한 고급 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 혁신적인 빠른 열 프로세서입니다. 이 제품은 강력하고, 효율적이며, 컴팩트하며, 저렴한 열 처리 장비로, 2 단계 난방 프로세스를 활용하여 제품의 성능과 안정성을 향상시킵니다. PP 100은 처리 시간, 온도 변화, 에너지 소비량 절감을 위해 설계된 완전 자동 열 프로세서입니다. 이 시스템은 90초 이내에 최적화된 프로세스 (process) 조건에 도달할 수 있으므로 원하는 결과를 신속하고 정확하게 전달합니다. 단일 카세트에서 단일 및 멀티 웨이퍼를 모두 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 2 단계 퍼니스 모듈, 마이크로 프로세서 제어 모듈 및 공랭식 핫 플레이트 모듈을 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 2 단계 퍼니스 모듈을 통해 기계는 고온 프로세스 조건을 신속하게 달성 할 수 있습니다. 서로 다른 온도에서 작동하는 2 개의 독립적 인, 프로그래밍 가능한 석영 할로겐 램프로 구성되며 열 폭주 및 핫스팟을 방지하도록 설계되었습니다. "마이크로프로세서" 제어 모듈을 사용하면 단일 컨트롤러에서 전체 도구를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 온도 정확성과 프로세스 제어를 위한 열 자산 (thermal asset) 모니터가 장착되어 있습니다. 공랭식 핫플레이트 모듈은 국소화된 냉각을 제공하여 공정 (process) 시간이 매우 짧습니다. PP PROCESS PRODUCTS 100은 안전과 편의를 고려하여 설계되었습니다. 여기에는 작동 중 모델에서 산소, 수분, 기타 오염 물질을 제거하여 안전한 작업 환경을 유지하기위한 질소 (nitrogen) 또는 비활성 가스 모듈 (inert gas module) 이 포함됩니다. 이 장비에는 안전하지 않은 상황에서 시스템을 신속하게 중지하기 위한 긴급 정지 (Emergency Stop) 스위치도 포함되어 있습니다. 작은 설치 공간에 맞게 설계되었으며, 기존의 열 처리 시스템과 관련된 장치 소음의 1% 미만 (1% 미만) 을 생성 할 수 있습니다. PP 100은 반도체 제품을 보다 정확하고 정밀하게 빠르게 처리할 수 있는 능력으로 반도체 제조업체에 적합한 솔루션입니다 (영문). 뛰어난 온도 안정성, 균일성, 반복성, 에너지 효율성을 통해 90 초 이내에 최대 1000 ° C의 표준 공정 온도에 도달 할 수 있습니다. 또한 비용 효율적 (cost-efficient) 으로 더 작은 설치 공간을 제공하여 모든 반도체 처리 라인에 이상적인 추가 기능을 제공합니다.
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