판매용 중고 NEWYOUNG RTA-150H-AVP1 #9308219

ID: 9308219
빈티지: 2007
Rapid Thermal Annealer (RTA) 2007 vintage.
NEWYOUNG RTA-150H-AVP1은 고밀도 전자 장치의 대량 제조를 위해 NEWYOUNG가 개발 한 고급 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 RTP 는 여러 개의 열 처리 단계를 처리할 수 있으며, 다양한 기판 및 웨이퍼 (wafer) 모양을 수용할 수 있으며, 업계 최고의 처리율을 제공합니다. RTA-150H-AVP1 은 매우 유연하게 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 단일 레시피 내에서 다양한 순차 처리 단계를 수행할 수 있습니다. NEWYOUNG RTA-150H-AVP1은 새로운 열 기술 및 균일 한 난방 시스템을 사용하여 전체 웨이퍼에서 더 나은 온도 조절 및 정확도를 달성합니다. 이렇게 하면 단일 Wafer 또는 배치 처리를 실행할지 여부와 상관없이 반복 가능한 프로세스가 유지됩니다. 이 시스템은 밀도가 높은 임플란테이션 (implantation) 및 도펀트 활성화 (dopant activation) 와 같은 고급 응용 프로그램과 변형된 실리콘 도핑을위한 어닐링 단계에 광범위하게 최적화되었습니다. RTA-150H-AVP1은 또한 고속 냉각이 가능하여 최대 20K/sec의 냉각 속도를 달성합니다. 이 기능을 사용하면 처리 시간이 단축되고, 재생성이 향상되고, 제품 생산량이 향상됩니다. 또한 NEWYOUNG RTA-150H-AVP1은 안전하고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 자동 웨이퍼 매핑 (Automatic Wafer Mapping) 및 직관적인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 와 같은 기능을 통해 매우 직관적이고 쉽게 작동할 수 있습니다. 유지 보수 및 서비스 기능도 향상되어, 유지 보수 및 수리를 위한 다운타임을 최소화합니다. 또한, RTA-150H-AVP1 은 다양한 고급 진단 및 안전 모니터링 툴과 통합되어 있어, 전자기 간섭이 어려운 환경에서도 안전하고 일관된 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 또한 최적화 된 반응 챔버 (reaction chamber) 설계를 특징으로하며, 민감한 프로세스에 대해 더 높은 수준의 순도를 유지하는 데 도움이됩니다. 이 독보적 인 다목적 성은 NEWYOUNG RTA-150H-AVP1을 다수의 고급 마이크로 전자 응용 분야에 이상적인 솔루션으로 만듭니다.
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