판매용 중고 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600XP #9262681

MPTC/MPT MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600XP는 처리 된 웨이퍼 샘플의 균일 한 가열 및 냉각에 사용되는 빠른 열 프로세서입니다. 할로겐 램프와 펠티어 효과 (Peltier effect) 의 조합을 사용하여 빠르게 가열, 냉각 및 anneal device 기질을 사용합니다. 이러한 빠른 열 공정은 빠른 열 산화, 빠른 열 어닐링, 빠른 열 질소 화, 빠른 열 확산 및 빠른 열 레이저 제거와 같은 다양한 응용 분야에 사용됩니다. MPTC RTP-600XP는 온도 조절의 정확성과 반복성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 독점적 인 Edge Energy Control Plate 기술은 와퍼 둘레에 정확하고 균일 한 전력 분배를 제공하며, 열 기울기가 매우 낮습니다. 모듈식 프로세스 기술 (MODULAR PROCESS TECHNOLOGY) RTP-600XP는 최대 600 ° C의 기판 온도까지 빠르게 램프할 수 있으며, 단일 웨이퍼 및 병렬 구성을 지원하므로 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 또한 RTP-600XP에는 고성능 보안 (security) 및 안전 시스템 (safety system) 이 장착되어 있어 손상 방지 및 최적의 실행을 유지합니다. 여기에는 부호 및 온도를 초과하는 전원 모니터 회로 (power monitor circuit with sign and over temper protection) 와 시스템의 광학을 보호하기 위한 하드웨어 보호 외장 (hardware protective sheaths) 이 포함됩니다. 또한, 이 시스템에는 고효율의 저소음 (low-noise) 팬이 포함되어 있어 시스템 및 샘플의 효율적인 냉각, 광학 냉각을 보장합니다. MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600XP는 작동이 간편하며, 다양한 데이터 로깅 기능과 맞춤식 웨이퍼 레시피를 제공합니다. 또한 자동화 장비 (Automation Equipment) 및 애플리케이션별 소프트웨어와 통합하여 완벽하게 자동화된 처리를 수행할 수 있습니다. 또한, 작은 발자국 및 모바일 디자인은 연구 및 품질 보증 (quality assurance) 응용 프로그램에 사용하기에 적합합니다. 전반적으로 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPT MPTC RTP-600XP는 다양한 웨이퍼 처리 유형에 이상적인 빠른 열 프로세서입니다. 정확하고 효율적이며, 안전성과 반복 가능성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 다양한 어플리케이션 (application) 에 적합한 다양한 유용한 기능을 제공하며, 소형 디자인 (design) 과 모바일 (mobile) 기능을 통해 소규모 실험실과 시설에서 사용할 수 있습니다.