판매용 중고 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600S #293768994
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ID: 293768994
빈티지: 2004
Rapid Thermal Processing (RTP) system
Power supply: 208 V, 80 A, 3 Phase, 60 Hz
2004 vintage.
MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600S는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 이 장치는 완전 모듈식 (Fully Modular) 장비로 구성되며, 이를 통해 사용자는 특정 요구 사항에 맞게 자신의 시스템을 구성할 수 있습니다. 프로세서는 배치 (Batch) 와 연속 (Continuous Operation) 모두에서 성능을 발휘하도록 설계되어 대용량 운영 애플리케이션에 적합합니다. 코어에서 MPTC RTP-600S는 열 제어 챔버를 특징으로하며, 모두 +/- 5 ° C 한계 내에서 -196 ° C ~ + 700 ° C 범위의 온도에서 작동 할 수 있습니다. 이 폭넓은 범위는 다양한 치료 옵션을 통해 처리 (processing) 측면에서 유연성이 향상됩니다. 프로세서는 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 사용할 수 있으며, 단일 (single), 이중 (double) 및 삼중 (triple) 계층 헤드를 사용하는 기능을 통해 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 또한, 이 프로세서는 다양한 사용자 정의 가능한 기능을 통해 각 요구 사항에 맞게 장치를 조정할 수 있습니다. 여기에는 냉각 및 통풍이 효과적으로 수행되도록 자체 포함 수냉기, 고출력 팬 도구가 포함됩니다. 프로세서를 탑재하는 소프트웨어는 온도 조절 (temperature control), 출력 조정 (output adjustment) 등과 같은 여러 옵션도 제공합니다. 또한, 프로세서에는 이벤트 로그 (event log) 가 장착되어 있어 작업 중 발생하는 모든 오류 (error or alarm) 또는 경고 (alarm) 가 버튼 터치에서 기록되고 볼 수 있습니다. 프로세서에서 성능 최적화를 위해 추가 컨트롤을 사용할 수 있습니다. 이 컨트롤은 프로세서가 프로세스를 유지 관리하고 반복하는 데 도움이 되고, 모니터 경고 (monitor alarms) 와 디스플레이 (display) 는 프로세스 중에 수집된 데이터를 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한, 프로세서에는 전력 공급 장치 (power supply) 가 포함되어 있어 사용에 필요한 전원을 공급할 수 있으며, 전열 (pre-heating) 에셋이 있어 웨이퍼의 빠른 열 공기 가열이 가능합니다. 모듈식 프로세스 기술 RTP-600S에는 USB 및 이더넷도 포함되어 있어 원격 모니터링 및 제어가 가능합니다. 이 기능을 사용하면 모든 위치에서 장치에 계속 연결할 수 있으며, 온도, 출력 (output), 처리 중 발생하는 경고 (alarm) 를 원격으로 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, RTP-600S (Rapid Thermal Processor) 는 운영 시 최적의 성능을 보장하는 다양한 맞춤형 옵션과 기능을 제공하는 빠른 열 프로세서입니다. 열 조절 챔버 (thermally-controlled chamber), 넓은 온도 범위, 사용자 정의 제어 (custom control) 및 원격 모니터링 기능을 사용하면 반도체 제작에 이상적인 선택이 가능합니다.
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