판매용 중고 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-3000 #9363907

ID: 9363907
Rapid Thermal Processing (RTP) system Chiller included.
모듈식 프로세스 기술/MPTC RTP-3000은 신속한 열 처리를 위한 안정적인 솔루션입니다. 반도체 생산에 필요한 균일, 빠른 열 (quick thermal) 이벤트를 통해 급격한 온도 변화를 발생시키도록 설계된 시스템입니다. MPTC RTP-3000 은 간편하고 작은 설치 공간에서 통계적으로 정확하고, 유연하며, 사용자 친화적인 운영을 제공합니다. 모듈식 프로세스 기술 (MODULAR PROCESS TECHNOLOGY) RTP-3000은 매우 정확한 온도 프로파일을 제공하여 제품 크기와 복잡성에 관계없이 균일 한 결과를 얻을 수 있습니다. 이는 고급 PID 제어 알고리즘과 내장 압력 제어 기능 때문입니다. 기질의 온도는 +/- 0.1 ° C, 최대 1600 ° C의 해상도로 정확하게 유지 될 수 있습니다. 열 버퍼 영역 (thermal buffer zone) 을 추가로 사용하면 중요한 영역의 온도를 쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 RTP-3000은 프로그램 일시 중지, 다중 세그먼트 프로그램 설정, 특정 시간 동안 특정 온도 유지, 성능 최적화를 위한 자동 피드백 (Automatic Feedback) 및 전력 규제 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 모듈식 프로세스 기술/MPTC RTP-3000은 대용량 운영 라인을 위한 완벽한 선택입니다. 견고성과 효율적인 운영을 통해 주기 시간을 줄이고 운영 비용을 최소화할 수 있습니다. 대부분의 자동화 시스템과 호환되며, 높은 수준의 안전성과 안정성을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 설치가 매우 쉬우며, 가스를 쉽게 사용할 수 있으므로 상당한 비용을 절감할 수 있습니다. 요약하면, MPTC RTP-3000은 빠른 열 처리에 이상적인 솔루션입니다. 고급 온도 조절 (Temperature Control) 알고리즘은 일관된 결과를 보장하며, 효율적인 운영 및 사용자 친화적 인터페이스는 대용량 운영 라인에 적합합니다. 압력 제어 (pressure control) 와 온도 버퍼링 (temperature buffering), 세그먼트 프로그래밍 (segment programming) 에 이르기까지 다양한 기능을 제공함으로써, 이 모듈식 비용 효율적인 시스템은 빠른 열 처리 응용 프로그램에 완벽한 선택입니다.
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