판매용 중고 JIPELEC Jetfirst #9182654

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ID: 9182654
웨이퍼 크기: 4"
Rapid Thermal Processor (RTP), 4" Ramp rate: 70C/sec Maximum allowable temp: 1100C Thermocouple and outer edge, 4" Gases: N2, O2, H2/N2 (10% forming gas) Chamber: Vacuum below 1 Torr.
JIPELEC Jetfirst (JIPELEC Jetfirst) 는 다양한 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 최고의 열 처리 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼, 기판 및 장치의 빠른 열 처리를 제공합니다. 이 장치는 사용자에게 고급 기술 (Advanced Technology), 극한의 정밀도 (Extreme Precision) 및 높은 처리량 (High Throughput) 의 조합을 제공하여 이 기계를 신속한 컴포넌트 열 처리에 이상적인 선택으로 만듭니다. Jetfirst에는 각각 5 인치 용량의 2 개의 병렬 고 진공 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 두 개의 챔버 각각에는 독립적인 제어판 (Control Panel) 과 다중 매개변수 (Multiple Parameter) 설정이 있으며, 이를 통해 사용자는 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 프로세스 매개변수를 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한, 2 개의 챔버에는 각 챔버에 전용 오븐 존이 있습니다. JIPELEC Jetfirst (JIPELEC Jetfirst) 는 고급 광학 공구를 특징으로하며, 고급 광학 현미경을 특징으로하며, 웨이퍼 및 기판에서 열 과정을 검사하고 특성화하는 데 충분한 시야를 제공 할 수 있습니다. 현미경에는 해상도 향상 및 보다 정확한 열 측정을위한 줌 (zoom) 기능도 있습니다. 제트 피르 스트 (Jetfirst) 는 또한 웨이퍼와 기판에서 열 균일성을 향상시키기 위해 조절 가능한 대기 챔버를 특징으로합니다. 이 기능을 사용하면 웨이퍼 (wafer) 및 기판의 열 프로세스를 특성화할 때 정확도가 높아집니다. JIPELEC Jetfirst에는 최적의 프로세스 균일성과 일관성을 보장하는 몇 가지 기능이 있습니다. 이 자산에는 특허를 획득한 자동화 모델 (automation model) 이 있어 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으며, 신뢰할 수 있는 운영 환경을 제공합니다. 또한, 제트 피르 스트 (Jetfirst) 는 웨이퍼 및 기판에 균일 한 온도 분포를 보장하기 위해 여러 열 절연 시스템을 갖추고 있습니다. JIPELEC Jetfirst (JIPELEC Jetfirst) 는 다양한 애플리케이션에 대한 간편한 액세스 및 다양한 제어 옵션뿐만 아니라 안정적인 열 프로세스 환경을 제공합니다. 이 장비는 박막 증착, 빠른 열 부화 (rapid thermal annealing), 반도체 장치 제작 등 다양한 작업을 처리하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 또한, Jetfirst 는 여러 프로세스를 병렬로 실행할 수 있으므로, 시스템의 전체 처리량을 늘릴 수 있습니다. JIPELEC Jetfirst (JIPELEC Jetfirst) 가 제공하는 모든 기능은 웨이퍼, 기판 및 장치의 고속 열 처리에 이상적인 선택입니다. 열조건 (thermal condition) 의 기술적 과정을 종래의 방법보다 훨씬 쉽고 빠르게 만들어, 이 장치는 다양한 응용프로그램 (application) 에 적합합니다.
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