판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS VHP #293756858

GASONICS / NOVELLUS VHP
급속열공정장비
제조사
GASONICS / NOVELLUS
모델
VHP
ID: 293756858
웨이퍼 크기: 4"-8"
Thermal processing system, 4"-8" Gases: O2, Steam oxidation, N2, NO Pressure: 1-25 ATM Temperature: 600-1100°C.
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