판매용 중고 DNS / DAINIPPON LA-820 #9361601

DNS/DAINIPPON LA-820은 열 처리 응용 프로그램에서 뛰어난 속도와 성능을 제공하는 빠른 열 프로세서입니다. 이 제품은 높은 처리량과 처리량을 실현할 수 있도록 설계되었으며, 안정성과 수익률이 향상되었습니다. 최대 8 웨이퍼 기능을 지원하며 전체 표면에서 균일 한 온도 분포로 시간당 최대 12 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 최대 500 ° C의 온도 범위를 가진 DNS LA820 (DNS LA820) 은 빠르게 온도를 회전시킬 수 있으며, 처리 시간이 단축되도록 설계되었습니다. DAINIPPON LA 820 아키텍처는 최고의 효율성과 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 8- 존 (zone), 독립적으로 제어되는 핫 존 (hot zone) 을 갖추고 전체 장비 전체에서 균일 한 온도 및 균일 한 처리를 보장합니다. 핫 존 (hot zone) 은 아크 내성을 갖도록 설계되었으며, 처리 중 핫 존 (hot zone) 표면의 파편이나 입자가 웨이퍼를 손상시키는 것을 방지하기 위해 제작되었습니다. DNS/DAINIPPON LA820 은 또한 기계식 셔터 (mechanical shutter) (옵션) 를 제공하여 처리 후 웨이퍼를 신속하게 냉각시켜 회로의 과도한 열 스트레스를 제거합니다. DNS/DAINIPPON LA 820에는 다양한 센서 및 분석 도구가 장착되어 있으며, 여기에는 열전대, 열전도 및 광학 피로미터가 포함됩니다. 열전대 (thermocouple) 는 시스템 내부의 온도 조건을 모니터링하고, 열전대는 처리 된 웨이퍼의 온도를 모니터링합니다. 광학 피로미터 (optical pyrometer) 는 핫 존 (hot zone) 표면의 밝기 (반사율) 를 측정하며, 이는 처리되는 모든 웨이퍼의 프로세스 매개변수를 분석하는 데 사용될 수 있습니다. DNS LA 820 에는 원격 장치 제어 및 모니터링을 위한 PC (Personal Computer) 또는 웹 기반 인터페이스가 제공됩니다. PC 인터페이스는 모든 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하며, 웹 기반 인터페이스는 인터넷에 연결된 모든 컴퓨터에서 액세스할 수 있습니다. 웹 기반 인터페이스를 통해 운영자는 모든 인터넷 연결 장치에서 LA 820 을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한, 웹 인터페이스를 사용하여 머신 설정, 프로그램 자동화 프로세스 등을 확인할 수도 있습니다. 전반적으로 LA-820 은 모든 열 처리 애플리케이션에 적합한 선택입니다. 독립적으로 제어되는 8 구역으로 우수한 성능과 균일 한 온도 조건을 제공합니다. 또한 원격 제어 및 모니터링을 위해 PC 또는 웹 기반 인터페이스를 선택할 수 있습니다. 빠른 온도 사이클링 기능과 결합된 DNS LA-820 의 센서 및 분석 툴은 고속, 신뢰성, 균일 한 열 처리에 이상적입니다.