판매용 중고 DNS / DAINIPPON LA-820 #9198238

DNS/DAINIPPON LA-820 고속 열 프로세서는 RTP (Rapid Thermal Processing) 의 온도 주기를 달성하기 위해 사용되는 최첨단 장치입니다. 이 장치는 일반적으로 ultrashort 열 공정으로 집적 회로 (IC) 제작에 사용됩니다. 이를 통해 프로세서는 미세 한 단계 로 분석 할 수 있으며, 정확한 온도 조절 (temperature control) 과 고밀도 (high precision) 는 원치 않는 열 손상을 방지합니다. DNS LA820은 챔버, 롤러 형 대류 (RTC) 메커니즘, 빠른 열 가열 및 냉각 기술을 포함한 본체로 구성됩니다. 롤러 (roller) 형 대류는 균일 한 온도 분포를 만들고 RTP를 위해 챔버 내부로 열을 전달하는 데 사용됩니다. 온도의 정확한 제어를 위해 온보드 전원 모니터링 시스템 (On-board Power Monitoring System) 과 사용자 인터페이스 (User Interface) 에 의해 가열 및 냉각 소스의 출력 전원이 관리됩니다. 또한, 챔버 내 실시간 온도의 온도 기반 측정을 통해 각 열 프로세스 단계에서 정확한 온도 조절 (temperature control) 이 가능합니다. DAINIPPON LA 820의 다른 특징으로는 실온에서 1050 ° C 사이의 넓은 온도 범위, 최대 ± 3 ° C의 균일 한 온도 분포, 실시간 온도를 측정하는 중적외선 광원이 있습니다. 또한 1,200 ° C/s의 최대 가열 및 냉각 속도는 RTP 프로세스를 용이하게합니다. DAINIPPON LA820 고속 열 프로세서의 장점은 비용 효율성, 높은 균일성 및 간단한 작동입니다. 이 장치는 반도체 제작 및 태양 전지 생산과 같은 RTP 응용 프로그램에 적합합니다. 또한 최대 5 개의 난방 영역 (heating and cooling region) 으로 장치를 구성할 수 있으며, 넓은 영역 내에서 균일 한 열 처리를 허용합니다. 또한, 정확성은 열 스트레스를 제거하여 장치 기능 및 신뢰성을 보장합니다.