판매용 중고 CENTROTHERM RTA 150 #9239213

ID: 9239213
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2007
System, 6" Heating power: 50 kW Max process temperature: 1200°C Max ramp rate: 150 K/s Temperature accuracy: ±0.5 K Processing gases: N2, N2H2 Heating system: (24) Lamps, PWM Pressure controlled vacuum / Atmospheric LEYBOLD HERAEUS Dura Dry 105 Vacuum pump Applications: Annealing Dopant activation Dry oxidation Metal contact anneal Barrier metal anneal 2007 vintage.
CENTROTHERM RTA 150은 독일에 본사를 둔 기술 회사 인 Centrotec Sustainable AG에서 제조 한 빠른 열 프로세서입니다. 이 제품은 반도체와 전자 제품 제조업체가 열 처리를 위해 사용하는 안정적이고, 효율적이며, 강력한 도구입니다. 이 장비 는 매우 다양 한 기판 과 재료 에 대한 신속 하고, 정확 하고, 균일 한 열처리 를 하도록 설계 되었다. RTA 150은 몇 초 안에 열 공정을 가열, 냉각 및 치료할 수 있습니다. 특허를받은 쿨다운 기술을 사용하여 초당 24 ° C까지 기판을 식힙니다. 이 빠른 냉각 기술은 일관성 있고 반복 가능하며 균일한 결과를 보장합니다. 이 시스템에는 고속 열 프로세서 (fast thermal processor) 가 장착되어 있어 온도 전환이 빠르고 미리 설정된 온도 프로파일을 정확하게 재현할 수 있습니다. 다목적 CENTROTHERM RTA 150은 동급 최고의 온도 균일성을 제공하며, 전체 과정에서 평균 최고 온도 ± 1 ° C를 제공합니다. 이것은 구리 기둥 범핑, 초박형 다이 첨부 장치, 칩 스케일 패키지 플립 칩 (flip-chip) 어셈블리 프로세스와 같은 현대적이고 도전적인 프로세스에 이상적입니다. 기계는 기판 보호를위한 압력 센서 (pressure sensor) 와 안전 인터 록 (safety interlock), 온도 및 가스 모니터링 등 여러 가지 내장 안전 기능이 제공됩니다. 또한 RTA 150 은 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하므로 데이터 로깅 (logging) 및 검토 (review) 뿐만 아니라 원격 모니터링 및 운영 제어 기능을 제공합니다. CENTROTHERM RTA 150은 오늘날의 반도체 및 전자 제조 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 고속 열 (Rapid Thermal) 프로세서입니다. 빠른 열 전송 (thermal transfer) 기능을 통해 고급 프로세스에 이상적인 솔루션이 될 수 있으며, 불균일성 (non-unifority) 및 안전 (safety) 기능을 통해 일관성 있고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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