판매용 중고 CANON / MATTSON HP-8800 #9182853

CANON/MATTSON HP-8800은 빠르고 안정적인 웨이퍼 처리를 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 캐논 HP-8800 (CANON HP-8800) 은 온도 및 어닐링 제어를 제공하여 엔지니어가 다양한 응용 프로그램에서 많은 수의 웨이퍼를 쉽게 처리 할 수 있습니다. MATTSON HP-8800은 -63 ° C ~ 350 ° C의 범위로 정확한 온도 제어를 가능하게합니다. 최고 30 ° C/s의 빠른 난방 속도와 냉각 속도를 제공하여 고급 어플리케이션에 적합합니다. HP-8800은 각 척을 분리하는 가스 범퍼 (gas bumper) 를 특징으로하여 작동 중에 각각 반응하지 않습니다. 또한 웨이퍼 척 (wafer chuck) 이 필요하지 않으므로 웨이퍼 로딩 및 언로드가 빨라집니다. CANON/MATTSON HP-8800에는 최대 4 개의 프로세스 챔버가 제공되며, 다양한 유형의 웨이퍼 처리를 위해 여러 설치 및 레시피가 가능합니다. 또한 자동 비상 셧오프 (Emergency Shoff) 를 통해 사용자 및 장비의 안전을 보장합니다. 또한 CANON HP-8800은 이동 가능한 척 (chuck) 및 홀더 (holder) 옵션을 사용하여 다양한 웨이퍼 모양과 크기를 수용할 수 있습니다. 이 장비에는 사용자 친화적인 LED (LED) 화면이 장착되어 있어 온도 및 기타 매개변수를 손쉽게 조정할 수 있습니다. MATTSON HP-8800에는 시스템을 모니터링하고 제어할 수 있는 다양한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 예를 들어, MPV1 소프트웨어 제품군은 프로세스 매개 변수를 최적화할 수 있지만, ERSO 소프트웨어 제품군은 장치에 대한 안전한 원격 액세스를 지원합니다. HP-8800 은 산화, 증착, 어닐링과 같은 수많은 애플리케이션에 적합합니다. 이 기계는 비용 및 시간을 줄이면서 웨이퍼 (Wafer) 제작의 신뢰성을 향상시킵니다. 따라서 CANON/MATTSON HP-8800은 강력하고 신뢰할 수 있는 RTP로, 다양한 웨이퍼 처리 작업을 처리할 수 있습니다. 정확한 Temperature and Annealing Control 기능을 통해 CANON HP-8800 은 최단 시간 내에 고품질의 최종 제품을 제공합니다.