판매용 중고 CANON / MATTSON HP-8800 #293642958

CANON/MATTSON HP-8800은 빠른 열 프로세서 (RTP) 로, 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 열 처리 장치입니다. 고품질 (High-Quality) 생산 부품의 중대형 볼륨이 필요한 소규모 생산에 이상적입니다. CANON HP-8800 은 완전 자동화된 마이크로프로세서 제어 시스템을 갖추고 있어, 뛰어난 반복성과 정확성을 제공하면서 쉽게 작동할 수 있습니다. 마이크로프로세서는 온도 프로파일링 (temperature profiling), 냉각 속도 (cooling rate), 압력 (pressure) 과 같은 모든 처리 매개변수를 제어할 수 있습니다. MATTSON HP-8800의 최대 온도는 1500 ° C이고 최대 압력은 645 mbar입니다. 4 구역 가스-퀸치 모듈 (gas-quench module) 과 순차적 열주기가 필요한 고급 재료를 처리하기 위해 새로 설계된 물-퀸치 모듈 (water-quench module) 이 장착되어 있습니다. 또한 HP-8800 은 기판을 쉽게 적재 및 언로드할 수 있는 직접 입력 롤러 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 대형 웨이퍼에서 균일성 처리를 제어하기위한 autodepth 기능이 있습니다. 또한 CANON/MATTSON HP-8800 은 고급 멀티 존 (multi-zone) 제어 시스템을 사용하여 처리 매개변수를 사용자 정의하고 최적화할 수 있습니다. 사용자는 quench 압력, 온도 속도, quench 가스 및 물 흐름 속도를 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한, CANON HP-8800 은 온도 프로파일링 데이터를 실시간으로 생성하고 데이터를 저장하여 나중에 검토할 수 있습니다. MATTSON HP-8800 에는 확장 디스플레이 (extended display) 와 터치 스크린 인터페이스 (touch-screen interface) 가 장착되어 있어 처리 매개변수를 쉽고 정확하게 변경할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 전용 및 공유 네트워크 통신을 지원하므로 여러 사이트에서 안전한 배치 처리 (batch processing) 를 허용합니다. 또한 시스템 간 통신 능력이 향상되고 네트워크에 연결된 모든 컴퓨터에서 원격 (remote) 액세스를 허용합니다. 전반적으로, HP-8800 빠른 열 프로세서는 반도체 장치 생산을위한 고급, 다용도 열 처리 장치입니다. "신뢰성 있고 효율적인" 머신으로, 소용량 및 대용량 생산에 뛰어난 반복성과 정확성을 제공합니다.