판매용 중고 BOC EDWARDS Helios #9203031

BOC EDWARDS Helios는 반도체, 광전자, 태양 광 전지, 복합 재료 및 의료 장치 산업의 연구, 개발 및 생산 응용 분야에서 기판의 빠르고 반복 가능한 처리를 위해 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 다양한 기판에서 빠른 열 어닐링, 치료 및 기타 재료 처리 솔루션을 제공합니다. 공정 최적화를 위해 스퍼터 이온 도금 및 유기 화학 증발 (oCVD) 과 같은 다양한 증착 도구와 함께 사용할 수 있습니다. Helios에는 2 개의 표준 가열 입력 챔버가 있으며, 멀티 챔버 시스템을위한 옵션 3 및 4 챔버가 있습니다. 최대 4 개의 샘플을 동시에 처리 할 수 있으며, 응용 프로그램에 따라 최대 온도는 1000 ° C입니다. 이 챔버의 직경은 최대 20mm, 높이는 10mm입니다. 실내의 샘플 보유자는 어느 정도의 유연성을 제공하고, 결과의 재현성을 향상시킵니다. BOC EDWARDS Helios의 프로세스 제어는 매우 정교합니다. 50 ° C ~ 1000 ° C의 다양한 온도에 대해 정확한 온도 조절이 가능한 고급 PID 제어 시스템이 있습니다. 또한 고급 프로그래밍 가능한 램프 레이트 컨트롤 (ramp rate control) 을 제공합니다. 이 컨트롤을 사용하면 일관된 프로세스 결과를 위해 수직 축에 미리 정의된 램프 레이트를 만들 수 있습니다. 히터 (Heater) 는 정확한 제어를 위한 센서 배열과 네트워크 통합을 위한 강력한 디지털 통신 링크를 갖춘 솔리드 스테이트 (solid state) 입니다. 헬리오스 (Helios) 는 공정 챔버 환경 및 공정 매개변수를 완전히 제어하여 사용자가 온도, 산소 제어 대기, 압력 및 진공과 같은 열 공정 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 방제시스템 (Control System) 은 또한 기체 흐름을 제어하고 농도를 모니터링하는 기능을 제공하며, 이는 유전체 및 기타 물질 증착에 적합한 수준으로 설정할 수 있습니다. BOC EDWARDS Helios는 업계 안전 표준을 준수하는 좋은 안전 기능을 갖추고 있습니다. 온도 및 압력 완화 밸브, 과열 보호 컷 아웃 및 폭발 방지 인클로저가 있습니다. 지역안전규정을 준수하기 위해 "프로그램 가능한 시간 지연 '과" 안전 설정' 을 갖는다. 또한 Helios는 사용자 친화적 인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 쉽게 설치 및 작동할 수 있습니다. 전반적으로 BOC EDWARDS 헬리오스 (BOC EDWARDS Helios) 는 다양하고 유연한 빠른 열 프로세서로, 다양한 기판에서 광범위한 열 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 공정 제어 기술 (process control technology) 을 통해 온도와 공정 매개변수 제어 (process parameter control), 그리고 포괄적인 안전 시스템이 가능합니다. 프로세스를 최적화하고 반복 가능하고 일관된 결과를 얻기 위해 다른 프로세스 툴 (process tools) 과 함께 사용할 수 있습니다.