판매용 중고 BOC EDWARDS Helios #9203029

BOC EDWARDS Helios는 반도체 재료의 빠르고 효율적인 열 어닐링을 위해 특별히 설계된 고급 빠른 열 프로세서입니다. 이 장치는 고온, 부식 화학 물질 등 가혹한 환경에서 금속, 산화물, 화합물의 웨이퍼 처리에 이상적인 도구입니다. 이 시스템은 쿼츠 튜브로 (QTF) 에 고급 저산소 환경을 사용하여 어닐링 프로세스를 매우 짧은 시간 (일반적으로 분) 으로 완료 할 수 있습니다. 헬리오스 (Helios) 고속 열 프로세서는 96mm ~ 200mm 범위의 유연한 챔버 크기를 제공하며, 다양한 섬세한 반도체 재료의 정확한 어닐링을 가능하게합니다. 2 개의 석영 튜브가 있습니다. 내부 쿼츠 튜브 (inner quartz tube) 는 미립자 물질의 축적을 방지하는 샘플의 성운화에 사용되고 외부 쿼츠 튜브 (outer quartz tube) 는 챔버 내부의 온도와 환경을 안정적으로 유지하는 절연체 역할을한다. 빠른 열 프로세서 (Rapid Thermal Processor) 는 자동 밸브 폐쇄 (Automatic Valve Closure) 및 배기 (Exhaust) 와 같은 여러 가지 고급 안전 기능뿐만 아니라 우발적 과열 및 유해 용매 노출의 위험을 줄이는 압력 제어 밀봉이 있습니다. 또한, 넓은 온도 범위를 사용하면 물질 분해 위험이 최소화 된 광범위한 반도체 (semiconductor) 물질을 어닐링할 수 있습니다. BOC EDWARDS Helios 고속 열 프로세서는 또한 고급 SPS (Substrate Protection System) 를 특징으로하며, 이를 통해 기판이 프로세스 챔버에있는 동안 온도를 절대적으로 제어 할 수 있습니다. 이 로 말미암아 "어닐링 '과정 은 극소 의 열적 변동 으로 끝나게 되고 기질 의 온도 는 가능 한 한 일관성 있게 유지 된다. 또한 PID (Programmable Intensity Displacement) 는 최적의 온도 프로파일을 만들기 위해 시간이 지남에 따라 온도를 조정하여 어닐링 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 전반적으로, 헬리오스 (Helios) 는 다양한 섬세한 반도체 재료에 대해 빠르고, 효율적이며, 안전한 어닐링 프로세스를 제공하는 고급 고속 열 프로세서입니다. 유연한 챔버 크기 (chamber size), 정확한 환경 제어 (environmental control) 및 고급 안전 (safety) 기능을 통해 다양한 프로세스에 안정적이고 효율적인 툴이 될 수 있습니다.