판매용 중고 BOC EDWARDS Helios #9096427

BOC EDWARDS Helios는 실리사이딩, 도펀트 활성화, 결함 치유, 금속 화 및 결정화와 같은 열 어닐링 프로세스를 반도체 장치 제조에 쉽게 통합 할 수있는 고급 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. Helios 열 처리 장비는 최대 1,200 ° C의 온도를 제공하도록 구성 될 수있는 고출력 램프와 가스 구동 히터의 조합을 사용합니다. 철저하게 제어 된 난방 기능은 어닐링, 재결정, 경화 (hardening) 및 패턴 어닐링 (patterned annealing) 을 포함한 다양한 프로세스 응용 분야에 이상적입니다. BOC EDWARDS Helios는 이중 제어 영역 및 특허 도핑 된 YAG 열 라디에이터 체계를 사용하여 설계되었습니다. 즉, 높은 수준의 유연성과 전원 제어 (power control) 기능을 통해 프로세스 간에 신속하게 전환하고 높은 수준의 충실도 (Fidelity) 와 균일성 (Unifority of Processing) 을 유지할 수 있습니다. 또한 Helios에는 강력한 GUI (Graphical User Interface) 컨트롤러가 포함되어 있어 운영 효율을 높이고 프로세스 가시성을 향상시킬 수 있습니다. 이 시스템에는 다양한 모니터링 도구 (예: 통합 적외선 카메라) 가 포함되어 있으며, 분석 소프트웨어를 통해 프로세스 매개변수 (parameter) 와 머신 성능 (machine performance) 을 모니터링하여 사용자가 프로세스를 실시간으로 파악할 수 있습니다. 또한, BOC EDWARDS Helios는 높은 처리율을 달성하면서 열 프로세스를 정확하게 관리할 수 있는 여러 가지 제어 체계를 제공합니다. 여기에는 개방형 루프 제어, 수동 제어 및 완전 자동 레시피 제어 기능이 포함됩니다. Helios는 또한 높은 사양의 N2 퍼징 유닛 (purging unit) 을 갖추고 있으며, 이는 다량의 질소 저장 및 레시피 빌딩 및 관리를위한 마이크로 ESC 반응기 (Micro ESC reactant machine) 를 제거합니다. 이렇게 하면 모든 프로세스 관련 재료가 신속하고 정확하게 공구에 공급됩니다. BOC EDWARDS Helios 고속 열 프로세서는 빠르고 정확한 열 처리가 필요한 대부분의 응용 프로그램에 적합합니다. 유연한 구성, 견고한 제어 시스템, 직관적인 소프트웨어 등을 갖춘 헬리오스 (Helios) 를 사용하면 프로세스 시간과 비용을 최소화하면서 디바이스 성능을 극대화할 수 있습니다.